彤程新材申请含有杂原子氮的共价有机框架材料专利,树脂产品中无机酸含量大幅度降低

2024-06-21 08:20:22 - 金融界网站

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金融界2024年6月21日消息,天眼查知识产权信息显示,彤程新材料集团股份有限公司申请一项名为“含有杂原子氮的共价有机框架材料及其制备和在光刻胶提纯的应用“,公开号CN202211639059.6,申请日期为2022年12月。

专利摘要显示,本发明公开了一类含有杂原子氮的共价有机框架材料及其制备和其在光刻胶领域的应用。其制备路线为:含杂原子氮修饰的共轭平面分子、兼卤族元素的单体和含两个以上硼酯基团修饰的芳香环通过溶剂热法进行Suzuki反应,经过索氏提取等步骤,最终制得所述含有杂原子氮的共价有机框架材料。本发明还公开了利用所述含有杂原子氮的共价有机框架材料去除树脂溶液(尤其是G线、I线、KrF线)中无机酸和金属杂质的方法以及应用。本发明方法得到的树脂产品中无机酸含量大幅度降低,同时单项金杂可降低至1ppb以下。本发明可用于光刻胶技术领域,用于光刻胶提纯,具有广泛应用前景。

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