中芯集成-U取得一种用于晶圆干燥的雾化装置及晶圆干燥设备专利，能够改善除水介质的雾化效果
2024-06-21 09:20:20 - 金融界网站
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金融界2024年6月21日消息，天眼查知识产权信息显示，绍兴中芯集成电路制造股份有限公司取得一项名为“一种用于晶圆干燥的雾化装置及晶圆干燥设备”的专利，授权公告号CN221201089U，申请日期为2023年9月。
专利摘要显示，本实用新型提供了一种用于晶圆干燥的雾化装置及晶圆干燥设备，该雾化装置包括：第一接口，用于通入携带有液态除水介质的常温气体；第二接口，用于通入高温气体；雾化腔室，分别连接所述第一接口与所述第二接口，用于混合所述高温气体和所述液态除水介质，以将所述液态除水介质蒸发为气态除水介质；第三接口，与所述雾化腔室连接，用于释放所述气态除水介质。本实用新型的用于晶圆干燥的雾化装置，能够在雾化腔室内将高温气体与液态除水介质进行混合，以将液态除水介质蒸发为气态除水介质，进而改善除水介质的雾化效果。