江丰电子申请一种PECVD加热盘加热丝的矫正方法专利,能有效矫正加热丝的位置,使得加热丝的居中度达到0.3mm以内

2024-06-21 10:05:24 - 金融界网站

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金融界2024年6月21日消息,天眼查知识产权信息显示,宁波江丰电子材料股份有限公司申请一项名为“一种PECVD加热盘加热丝的矫正方法“,公开号CN202410329289.5,申请日期为2024年3月。

专利摘要显示,本发明提供一种PECVD加热盘加热丝的矫正方法。所述矫正方法包括如下步骤:(1)预处理矫正模块;(2)采用固定装置固定PECVD加热盘加热丝端头,而后将步骤(1)所得矫正模块安装于支撑筒筒口与加热丝之间,完成对加热丝的矫正;所述矫正模块包括钢管;所述钢管的厚度为支撑筒筒口与加热丝的最大间距;所述钢管外径至多比支撑筒筒口直径小0.1mm。本发明提供的矫正方法能有效矫正加热丝的位置,使得加热丝的居中度达到0.3mm以内,进而有效解决因加热丝倾斜导致产品无法安装问题。

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