中微公司申请喷淋头加热设备专利，提高喷淋头的清洁效果及沉积工艺效率
2024-06-21 11:05:21 - 金融界网站
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金融界2024年6月21日消息，天眼查知识产权信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“一种喷淋头加热装置、气相沉积设备及喷淋头控温方法”的专利，公开号CN202211651089.9，申请日期为2022年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种喷淋头加热装置、气相沉积设备及喷淋头控温方法。所述气相沉积设备包括反应腔体，所述反应腔体的顶部包括安装基板，所述安装基板上设有用于将反应气体或清洁气体引入反应腔体的第一进气通道，所述安装基板的下方设有喷淋头，所述安装基板与喷淋头之间设有与第一进气通道连通的加热盘腔；所述喷淋头加热装置包括在加热盘腔内的可升降的加热盘，所述加热盘能够下降至靠近或抵接喷淋头的顶面的位置并对喷淋头进行加热，以及上升至远离喷淋头的顶面的位置并停止加热。本发明能够解决将加热器嵌入喷淋头所带来的工艺难题，提高喷淋头的清洁效果及沉积工艺效率。