龙腾光电取得一种光罩检查机构及光罩清洁设备专利,降低了对光罩的检测难度,提高了对光罩的检查效率

2024-06-21 11:10:21 - 金融界网站

转自:金融界

本文源自:金融界

金融界2024年6月21日消息,天眼查知识产权信息显示,昆山龙腾光电股份有限公司取得一项名为“一种光罩检查机构及光罩清洁设备“,授权公告号CN221200225U,申请日期为2023年12月。

专利摘要显示,本实用新型涉及显示面板制造技术领域,尤其涉及一种光罩检查机构及光罩清洁设备。光罩检查机构包括风机组件、制冷风道和制热风道,制冷风道和制热风道均与风机组件相连通,风机组件用于向制冷风道和制热风道内吹入空气,制冷风道被配置为对吹入的空气降温,制热风道被配置为对吹入的空气加热,并且制冷风道和制热风道用于同时向光罩的表面吹气,以使光罩的表面产生雾气,从而检查光罩的表面是否存在印记,降低了对光罩的检测难度,提高了对光罩的检查效率,也保证了产品的良率。此外,通过冷热空气相遇产生雾气,避免了光罩的表面残留水渍,保证了光罩的正常使用。光罩清洁设备通过应用上述光罩检查机构,提高了工作效率,也保证了产品的良率。

今日热搜