歌尔股份取得偏振全息光栅曝光技术专利，实现光路抗干扰能力强
2023-11-22 14:30:39 - 金融界网站
转自：金融界
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金融界2023年11月22日消息，据国家知识产权局公告，歌尔股份有限公司取得一项名为“偏振全息光栅的曝光系统及曝光方法”专利，授权公告号CN114236971B，申请日期为2021年11月。
专利摘要显示，本申请公开了一种偏振全息光栅的曝光系统及曝光方法，包括：光源发出的光线经过第一相位延迟器后形成第一圆偏振光；曝光样品与第一相位延迟器呈夹角θ设置；第二相位延迟器位于曝光样品远离光源的一侧；反射镜位于第二相位延迟器远离光源的一侧。通过单束光线及其经过反射镜反射回的光线在曝光样品处形成干涉图案，实现偏振全息光栅的曝光。此技术的光路抗干扰能力强，便于制备光栅周期范围更广的偏振全息光栅。