长鑫存储申请切割道图案的区域分析方法及设备专利，提高晶圆上切割道的利用率
2023-12-22 12:50:42 - 金融界网站
转自：金融界
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金融界2023年12月22日消息，据国家知识产权局公告，长鑫存储技术有限公司申请一项名为“切割道图案的区域分析方法及设备“，公开号CN117274134A，申请日期为2022年6月。
专利摘要显示，本公开实施例提供一种切割道图案的区域分析方法及设备，该方法包括：确定掩膜版上的切割道图案的尺寸；根据切割道图案的区域中设置的目标图案在版图中对应的第一图层，确定目标图案的尺寸；根据切割道图案的尺寸和目标图案的尺寸，确定切割道图案的空闲区域尺寸。本公开实施例可以通过版图中的图层准确的预估目标图案的尺寸，进而确定切割道图案的空闲区域尺寸，该空闲区域尺寸可以辅助设计人员向切割道图案的区域中继续添加目标图案，以充分利用掩膜版上的切割道图案的区域，从而也就提高了晶圆上切割道的利用率。