新特能源申请还原炉进料系统和方法专利,能够改善硅棒的致密性和一致性,提高产品质量,减少能量浪费

2024-06-03 14:50:22 - 金融界网站

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金融界2024年6月3日消息,据国家知识产权局公告,新特能源股份有限公司申请一项名为“还原炉进料系统和方法“,公开号CN202410002743.6,申请日期为2024年1月。

专利摘要显示,本发明公开了一种还原炉进料系统和方法,还原炉进料系统包括:还原炉,还原炉内部限定有炉腔,还原炉具有炉底盘,炉底盘上设有多个喷嘴组;进料系统,第一主管的一端用于输入第一反应物,第二主管的一端用于输入第二反应物,汽化器用于混合第一反应物和第二反应物以形成混合气体,出料管的一端与汽化器连通,另一端与对应的喷嘴组中的喷嘴分别连通,喷嘴用于向炉腔内喷出混合气体,调节阀设在对应的出料管的另一端以用于调节喷嘴喷出混合气体的流量。根据本发明实施例的还原炉进料系统,能够达到改善还原炉内气场的作用,便于三氯氢硅被氢气还原,以及电子级多晶硅沉积在硅芯载体上,改善硅棒的致密性和一致性,提高产品质量,减少能量浪费。

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