晶瑞电材:公司共拥有5台光刻机相关设备 分别用于ArF等产品的研发以及量产

2024-06-03 17:29:02 - 财联社APP

转自:财联社

【晶瑞电材:公司共拥有5台光刻机相关设备分别用于ArF等产品的研发以及量产】财联社6月3日电,有投资者问,贵公司目前拥有几台光刻机用于研发生产芯片上游材料光刻胶?晶瑞电材在互动平台表示,公司共拥有5台相关设备及其配套设备,分别用于紫外宽谱、g线、i线、KrF和ArF产品的研发以及量产。

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