中微公司申请一种抽气环组件及气相沉积设备专利，能够在不影响腔内器件布局的情况下增加排气管的管径
2024-06-03 20:05:20 - 金融界网站
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金融界2024年6月3日消息，天眼查知识产权信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“一种抽气环组件及气相沉积设备“，公开号CN202211524200.8，申请日期为2022年11月。
专利摘要显示，本发明公开了一种抽气环组件及气相沉积设备。所述气相沉积设备包括反应腔和位于所述反应腔内用于承载晶圆的托盘组件；所述抽气环组件包括：上抽气环，在所述反应腔内环绕托盘组件设置；下抽气环，在所述反应腔内设置于所述上抽气环的下方，包括2个或3个沿托盘组件周向分布的圆弧状的下抽气单元；以及，与所述下抽气单元的数量一致的排气管，一一对应地设置在各所述下抽气单元的下方；所述上抽气环、下抽气环和排气管组合成连通所述反应腔内外的封闭气道。本发明能够在不影响腔内器件布局的情况下增加排气管的管径，并且减少排气管的数量，满足工艺需要，降低加工难度和加工成本，以及增加抽气环支撑的使用寿命。