路维光电申请图形非线性补偿专利，提高掩膜版图纸设计效率和品质
2024-06-03 20:05:20 - 金融界网站
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金融界2024年6月3日消息，天眼查知识产权信息显示，深圳市路维光电股份有限公司申请一项名为“应用于掩膜版制造的图形非线性补偿方法、设备和介质“，公开号CN202410433858.0，申请日期为2024年4月。
专利摘要显示，本发明公开了一种应用于掩膜版制造的图形非线性补偿方法、设备和介质，包括以下具体步骤：获取目标补充掩膜图纸，获取掩膜图纸中的开口图形，构建坐标；对图纸的补偿区域进行网格划分，每个网格为由四个点位组围合的矩形区域；根据补偿需求获取每个网格中四个点位的补偿值，根据四个点位的补偿值对该网格所在的开口图形中进行补偿；根据图形名称对补偿后的开口图形进行排列，得到补充后的掩膜图形。能够提高掩膜图纸处理的准确效率和品质，提高掩膜版生产效率，可优化掩膜版的图纸设计流程，降低人工处理过程中产生的失误，提高掩膜版图纸设计效率和品质，缩短掩膜版生产周期，从而进一步提升国产化替代的交付周期优势。