通富微电申请晶圆划片刀形变检测方法及检测系统专利,避免了因刀片变形而继续作业导致产品报废的风险,提高了产品良率

2024-06-04 10:05:21 - 金融界网站

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金融界2024年6月4日消息,天眼查知识产权信息显示,通富微电子股份有限公司申请一项名为“晶圆划片刀形变检测方法及检测系统“,公开号CN202410282023.X,申请日期为2024年3月。

专利摘要显示,本公开实施例提供一种晶圆划片刀形变检测方法及检测系统,划片刀具有划片刀主轴,所述方法包括:获取划片刀主轴的实际电流值;将实际电流值与预设电流阈值进行对比,判定划片刀的形变状态;其中,预设电流阈值至少包括预设电流上限阈值和预设空载电流阈值。通过将划片刀主轴的实际电流值与预设电流阈值进行对比,可以在刀片受损刀刃没有击穿不透光的特殊异常状态下,仍可以检测到刀片变形状况,避免了因刀片变形而继续作业导致产品报废的风险,提高了产品良率,弥补传统光学检测无法检测刀片形变的问题。

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