龙腾光电取得曝光系统及曝光机专利,提高产品线宽的均一性,提高产品良率

2024-06-04 15:55:19 - 金融界网站

转自:金融界

本文源自:金融界

金融界2024年6月4日消息,天眼查知识产权信息显示,昆山龙腾光电股份有限公司取得一项名为“曝光系统及曝光机“,授权公告号CN221079182U,申请日期为2023年11月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种曝光系统及曝光机。曝光系统包括:光源组件、弧形镜组、掩膜版、透镜组和补偿镜组;光源组件的出射光依次经过弧形镜组、掩膜版及透镜组后对第一基板进行曝光;掩膜版能够沿第一方向或第一方向的反方向移动;补偿镜组设置于透镜组的出射光路上;补偿镜组设有至少一个在第一方向上位置可变的补偿区域,每个补偿区域包括沿第一方向排列的第一透光区和与第二透光区;第一透光区和第二透光区的透光率不同;且第一透光区的宽度与第一基板对应的光阻膜厚异常区的宽度相等,第二透光区的宽度大于或等于透镜组出射光的宽度的二倍。本实用新型能够提高产品线宽的均一性,提高产品良率。

今日热搜