天岳先进申请高效晶体生长炉及其使用方法专利,解决晶体生长炉生产效率低的技术问题

2024-06-04 15:20:19 - 金融界网站

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金融界2024年6月4日消息,天眼查知识产权信息显示,山东天岳先进科技股份有限公司申请一项名为“一种高效晶体生长炉及其使用方法“,公开号CN202410307724.4,申请日期为2024年3月。

专利摘要显示,本发明公开了一种高效晶体生长炉及其使用方法,涉及晶体生长技术领域,其包括机架以及位于机架上方的晶体生长腔,所述机架包括一个能够上下升降的移动盘,移动盘上安装有转盘,转盘上并排安装有缓存腔及上料腔,缓存腔与上料腔均位于晶体生长腔的下方并关于转盘所旋转的轴线对称;当转盘旋转至一定角度,缓存腔或上料腔能够与晶体生长腔上下对齐。本发明采用三腔室结构,当长晶完成后可以通过升降旋转机构将晶体生长腔内的坩埚托盘送至缓存腔进行冷却,然后转动转盘,将上料腔与晶体生长腔对接、上料。这样,缓慢降温冷却阶段可与下一轮长晶过程同时进行,解决了现有技术中晶体生长炉生产效率低的技术问题。

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