中科飞测-U申请一种检测方法、检测系统、终端设备及存储介质专利，可以提高表面缺陷检测的精度以及检测效率
2024-06-04 20:50:56 - 金融界网站
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金融界2024年6月4日消息，天眼查知识产权信息显示，深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“一种检测方法、检测系统、终端设备及存储介质“，公开号CN202211540795.6，申请日期为2022年12月。
专利摘要显示，一种检测方法、检测系统、终端设备及存储介质，检测方法包括：控制第一检测光束对待测面进行扫描，获取待测面的第一预设缺陷对应的第一散射信号，依据第一散射信号确定第一预设缺陷在待测面的第一分布信息；当第一检测光束扫描至第一预设节点时，控制第二检测光束对待测面进行扫描，获取待测面的第二预设缺陷对应的第二散射信号，依据第二散射信号确定第二预设缺陷在待测面的第二分布信息；第一检测光束的波长大于第二检测光束的波长。本申请可以提高表面缺陷检测的精度以及检测效率。