投资者提问:请问公司的光刻机和芯片纳米级光刻机的原理一样吗?二者有什么区别...

2021-05-14 17:40:11 - 问董秘

投资者提问:

请问公司的光刻机和芯片纳米级光刻机的原理一样吗?二者有什么区别?

董秘回答(大族激光SZ002008):

尊敬的投资者,您好!微米/亚微米级光刻机和纳米级光刻机在加工精度上有巨大差距,其光源、光路系统、对准系统、工件台以及整体工艺等方面均有着极大的差别,谢谢。

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