【机械】静电卡盘是半导体关键零部件，技术壁垒高——半导体零部件系列研究之静电卡盘（杨绍辉）
静电卡盘是一种通过静电力将工件吸附固定在卡盘表面的夹具
相较于传统的机械卡盘与真空卡盘，静电卡盘由于对工件损伤小、精度高等特点，被广泛运用于精密加工的场景。
静电卡盘对多个半导体制造工艺的良率提升起重要作用
现代半导体工艺中需要保证晶圆的平稳固定。静电卡盘由于吸附均匀、污染小、可作用于真空环境的特点在工艺良率的提升方面优势明显。同时半导体工艺中对晶圆温度控制是影响良率的关键，因此需要通过静电卡盘对晶圆进行加热或散热从而对晶圆温度进行精准控制。在静电卡盘实际工作过程中，同一温控区内的晶圆实际温度可能会有不同。因此可通过增加温控区的方式，对每一温控区进行单独温度控制，从而实现晶圆整体的均热性，提高半导体工艺的良率。
静电卡盘市场稳步增长
据珂玛科技公告，静电卡盘占刻蚀机原材料采购成本的12.7%。受益于半导体设备市场规模持续扩张，静电卡盘市场规模持续增长。据QYResearch数据，2017-2021年全球静电卡盘市场销售额从15.5亿美元增长至17.1亿美元，CAGR为2.5%。QYResearch预计2022-2028年全球静电卡盘市场销售额将由17.9亿美元增长至24.1亿美元，CAGR为5.1%。
全球静电卡盘市场由美系、日系制造商高度垄断
美国的静电卡盘制造商包括AppliedMaterials与LamResearch等，日本的静电卡盘制造商包括Shinko、TOTO、NTK、CreativeTechnologyCorporation等。据QYResearch数据，AppliedMaterials、LamResearch与Shinko分别占据了2021年全球静电卡盘市场销售额前三位，各自占比分别为43.86%/31.42%/10.20%。
国内厂商处于起步阶段，国产替代需求迫切
目前已有包括华卓精科、海拓创新、中瓷电子、富创精密、珂玛科技等国家国内企业开始了静电卡盘相关的研发生产工作。其中华卓精科已开发出12寸PVD氮化铝静电卡盘，在一定程度上破除了海外厂商在静电卡盘领域的长期垄断局面，目前该产品已实现小规模量产。
风险分析：产品研发进度不及预期的风险；下游需求不及预期的风险；国产化替代不及预期的风险。
发布日期：2023-08-03
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