华海清科荣获2023年度国家技术发明奖一等奖 科研硬实力持续取得突破

2024-07-15 17:23:29 - 上海证券报

转自:上海证券报·中国证券网

日前,华海清科公告称,公司和清华大学共同完成的“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目荣获2023年度国家技术发明奖一等奖,董事长、首席科学家路新春作为项目第一完成人获得2023年度国家技术发明奖一等奖证书。

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