中芯集成-U取得晶圆导片机、晶圆蚀刻设备专利，此项技术能有效提高晶圆的良率
2024-06-07 11:25:58 - 金融界网站
转自：金融界
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金融界2024年6月7日消息，天眼查知识产权信息显示，绍兴中芯集成电路制造股份有限公司取得一项名为“晶圆导片机、晶圆蚀刻设备”的专利，授权公告号CN221102028U，申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，本实用新型提供一种晶圆导片机、晶圆蚀刻设备，晶圆导片机驱动组件、传动件、推动件、行程传感器、供电电路和控制元件，传动件设置在驱动组件的输出端，推动件与传动件活动连接，行程传感器设置于传动件上，供电电路与驱动组件电连接，控制元件分别与行程传感器和供电电路电连接；其中，供电电路用于向驱动组件供电，驱动组件用于通过传动件驱动推动件，推动件用于推动晶圆，行程传感器用于在检测到推动件时发出位置信号，控制元件用于根据位置信号控制供电电路断路，以使供电电路停止向驱动组件供电。本申请可以避免晶圆划伤或者破片，提高晶圆的良率。