中微公司取得一种托盘搬运装置及气相沉积系统专利，有效避免颗粒污染并节约搬运时间
2024-06-07 11:15:57 - 金融界网站
转自：金融界
本文源自:金融界
金融界2024年6月7日消息，天眼查知识产权信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司取得一项名为“一种托盘搬运装置及气相沉积系统“，授权公告号CN221092739U，申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，本实用新型公开一种托盘搬运装置及气相沉积系统，所述托盘搬运装置用于移动半导体设备中承载基片的圆形的托盘，包括：滑轨，其长度大于所述托盘的径向长度；至少两个夹持机构，设置于所述滑轨上，所述夹持机构包括固定连接的夹持部和移动部；所述移动部可沿所述滑轨进行往复移动，以使至少两个所述夹持部夹持或脱离所述托盘；止动装置，设置于所述移动部上，用于将所述夹持机构锁定在所述滑轨上；以及提吊机构，设置于所述滑轨上，用于提起并搬运被夹持的托盘。本实用新型对托盘进行搬运时可以避免直接与托盘进行接触，从而避免对托盘上的晶圆造成颗粒污染；同时还能够在托盘的温度较高时搬运托盘，极大地节约搬运及更换托盘的时间。