天岳先进申请金刚石用研磨液及金刚石衬底的研磨方法专利，能够实现对金刚石衬底的均匀且高效研磨
2024-06-17 19:20:19 - 金融界网站
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金融界2024年6月13日消息，天眼查知识产权信息显示，山东天岳先进科技股份有限公司申请一项名为“一种金刚石用研磨液及金刚石衬底的研磨方法“，公开号CN202410579029.3，申请日期为2024年5月。
专利摘要显示，本申请公开了一种金刚石用研磨液及金刚石衬底的研磨方法，属于金刚石研磨技术领域。该研磨液包括金刚石微粉、碳化硼微粉、双氧水和水，所述研磨液中金刚石微粉、碳化硼微粉、双氧水和水的重量比为（0.08~0.15）：（0.08~0.15）：（0.05~0.10）：1，所述双氧水中过氧化氢的浓度为30%。研磨方法中采用含有双氧水的研磨液与表面固定有金刚石微粉的研磨盘相互协同，能够实现对金刚石衬底的均匀且高效研磨，显著降低研磨后的金刚石衬底的粗糙度并提高成品率，提高了金刚石衬底的应用前景。