中微公司申请混气组件及气相沉积设备专利，使混合气体达到充分混合并提高在出气管路处的均匀度
2024-06-17 19:40:18 - 金融界网站
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金融界2024年6月13日消息，天眼查知识产权信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“一种混气组件及气相沉积设备“，公开号CN202211584275.5，申请日期为2022年12月。
专利摘要显示，本发明提供了一种混气组件及气相沉积设备，属于气相沉积装置领域，为了解决混合气体输入后在基片表面分布不均匀的技术问题，本发明的技术方案具体包括：主进气通道，其上与至少两个子进气通道连通；主进气通道的出口与至少两个第一分气通道连通；第一分气通道通过第一过渡管路与第一主出气通道连通；至少两个第一过渡管路的出口相对连通设置，且出口相对设置的两个第一过渡管路的轴线之间的夹角大于90°且小于等于180°，通过对混合气体流通路径的重新设计，使混合气体达到充分混合并提高在出气管路处的均匀度。