晶升股份取得碳化硅长晶专利,实现对长晶过程的实时监控和调节

2024-06-18 07:35:19 - 金融界网站

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金融界2024年6月18日消息,天眼查知识产权信息显示,南京晶升装备股份有限公司取得一项名为“一种碳化硅长晶时晶体厚度及质量的测量系统及方法”的专利,授权公告号CN114427826B,申请日期为2021年12月。

专利摘要显示,本发明公开了一种碳化硅长晶时晶体厚度及质量的测量系统及方法,测量系统包括石墨盘、电阻检测模块、计算模块和显示模块。通过导电棒与石墨盘电连接,并通过实时测量导电棒之间的电阻,将电阻转化为碳化硅晶体生长过程中的厚度及质量,这种方式实时显示,有助于操作人员实时观测碳化硅晶体的生长是否符合要求,在不符合要求时,可以及时调节工艺,无需等待晶体出炉。

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