至纯科技取得加热功能夹取器专利，夹取器能够在搬送过程中，依靠其自身的加热温度将湿晶圆盒表面的水分蒸发掉
2024-06-18 13:10:20 - 金融界网站
转自：金融界
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金融界2024年6月18日消息，天眼查知识产权信息显示，上海至纯洁净系统科技股份有限公司取得一项名为“一种具有加热功能的夹取器及湿法槽式清洗设备“，授权公告号CN109935540B，申请日期为2019年3月。
专利摘要显示，本发明公开了一种具有加热功能的夹取器及应用该夹取器的湿法槽式清洗设备，所述夹取器包括用以夹取清洗槽内的湿晶圆盒的夹取手，以及用以带动夹取手动作的搬送机构；夹取手通过横杆与搬送机构相连接。本发明夹取器自带加热功能，当夹取器夹取湿晶圆盒时，夹取器能够在搬送过程中，依靠其自身的加热温度将湿晶圆盒表面的水分蒸发掉，然后便可以将干晶圆盒搬送至目标位置，由原来配置干湿两个夹取器减少为一个夹取器，减小了生产成本。