敏芯股份取得声电转换结构及其制作方法、麦克风专利，提升MEMS传感器的性能
2024-06-18 13:15:19 - 金融界网站
转自：金融界
本文源自:金融界
金融界2024年6月18日消息，天眼查知识产权信息显示，苏州敏芯微电子技术股份有限公司取得一项名为“声电转换结构及其制作方法、麦克风”，授权公告号CN117915251B，申请日期为2024年3月。
专利摘要显示，本发明公开了一种声电转换结构及其制作方法、麦克风，制作方法包括：提供衬底；在衬底的一侧制作背极板，背极板包括固定电极层和位于固定电极层两侧的第一绝缘层和第二绝缘层，其中，第二绝缘层位于第一绝缘层靠近衬底一侧，固定电极层和第二绝缘层开设有声孔，第一绝缘层在具有声孔的固定电极层上制作成型；对第一绝缘层进行刻蚀，以形成至少一个凸起结构和与所述声孔至少部分交叠的贯穿孔，所述凸起结构容置于所述贯穿孔；在第一绝缘层远离固定电极层的一侧分别制作第三绝缘层和振动电极层；在衬底背离背极板的一侧，对衬底进行刻蚀形成背腔；通过声孔处将部分的第三绝缘层刻蚀掉，得到声电转换结构。本发明的技术方案能够提升MEMS传感器的性能。