精测电子申请一种晶圆光致发光检测装置与方法专利，能实现准确的自动对焦
2024-06-18 12:50:21 - 金融界网站
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金融界2024年6月18日消息，天眼查知识产权信息显示，武汉精测电子集团股份有限公司申请一项名为“一种晶圆光致发光检测装置与方法“，公开号CN202311783440.4，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆光致发光检测装置和方法，包括：移动载台，用于承载待测样品；依次设置的光源模块、光纤光路、管镜和物镜，还包括光谱仪和自动对焦模块；还包括相机模块、分光模块和色散补偿透镜。本发明提供的晶圆光致发光检测装置，将光谱共焦法对焦应用于晶圆的光致发光光谱检测中，使得对焦过程和光致发光光谱检测过程中可以共用光路和光谱仪模块，简化了系统结构，并能实现准确的自动对焦；通过分光镜和管镜的设置，可以同时实现晶圆的自动对焦、拍照3D测量和光致发光光谱检测。