中微公司申请一种下电极组件及其等离子体处理装置专利，实现了对晶圆边缘不同区域的等离子体分布状态的调控
2024-06-18 21:20:22 - 金融界网站
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金融界2024年6月18日消息，天眼查知识产权信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“一种下电极组件及其等离子体处理装置“，公开号CN202211612805.2，申请日期为2022年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种下电极组件及其等离子体处理装置，该下电极组件设置于一真空反应腔内，其包含：基座，其用于承载晶圆，所述基座的上边缘具有围绕所述晶圆的环形台阶；第一射频电源，用于向所述基座提供第一射频功率；环绕设置于所述环形台阶上方的至少两个边缘调整组件，各个所述边缘调整组件之间电绝缘；边缘调整组件包含聚焦环单元和其下方的电极，电极与第二射频电源电连接，第二射频电源向电极施加第二射频功率，用于调整聚焦环单元上方等离子体的状态。其优点是：其通过对第二射频电源分别向各个电极施加的第二射频功率进行调整，可实现对不同聚焦环单元上方的等离子体状态的调整，实现了对晶圆边缘不同区域的等离子体分布状态的调控。