第五届“6·18”国外电子信息产业项目成果
2007年2月8日 - 福建省人力资源和社会保障厅
1、“Karelin-Process”(卡列林过程法)-半导体多晶硅生产之新方法项目简介:高纯度硅是21世纪现代工业和新兴工程的主要半导体原料。其实际使用范围包括:大型和超大型综合配置制作、微电子学、电力电子学和太阳能工程。世界半导体多晶硅的年产量在过去五年中增加了两倍,达到每年2.4万吨。目前超过90%的半导体设备由硅...
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1、“Karelin-Process”(卡列林过程法)-半导体多晶硅生产之新方法项目简介:高纯度硅是21世纪现代工业和新兴工程的主要半导体原料。其实际使用范围包括:大型和超大型综合配置制作、微电子学、电力电子学和太阳能工程。世界半导体多晶硅的年产量在过去五年中增加了两倍,达到每年2.4万吨。目前超过90%的半导体设备由硅...