石英股份获得实用新型专利授权:“一种用于四氟化硅制备白炭黑的...
装置包括具有中空内腔的腔室和安装于内腔中的过滤构件,该过滤构件将腔室的内腔分隔成第一腔和第二腔;该过滤构件可透气体和液体但不可透固体;该腔室还包括进气口、喷淋口和抽气口;该进气口连通第一腔,用于供四氟化硅气体与氨水雾化汽同步地通入第一腔并在第一腔内混合反应得到反应产物;该喷淋口连通第一腔,用于...
我国特种气体行业有望迎来全面发展阶段
7)中船特气主要产品包括高纯三氟化氮、高纯六氟化钨、高纯氯化氢、高纯氟化氢、高纯四氟化硅、高纯氘气、高纯六氟丁二烯、高纯八氟环丁烷、高纯电子混合气等电子特种气体,以及三氟甲磺酸、三氟甲磺酸酐、双(三氟甲磺酰)亚胺锂等含氟新材料。8)凯美特气在生产、销售干冰和液体二氧化碳产品的基础上,利用化工尾气(...
华特气体: 2023年广东华特气体股份有限公司向不特定对象发行可...
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国产率只有20%,我国战略气体也被“卡脖子”?院士解读如何走出困境
沉积气是以硅烷等含硅气体为主,硅烷分解后可以在晶圆表面形成需要的薄膜;刻蚀气常用的是四氟化碳、八氟环丁烷等含氟的气体,它的作用是对经过光刻的硅片进行雕刻得到特定结构的沟槽;掺杂气是含有砷、硼、磷等元素的气体,用于向硅片中掺入一些元素形成半导体的器件。气体是怎么在刻蚀环节中起作用的?目前主流的刻蚀方...
氢氟酸如何腐蚀石头?原理、是否需包裹、自然性及处理方法全解析
四氟化硅是一种强腐蚀性的化合物,可通过以下方法来祛除:1.防止进一步腐蚀:应立即避免与四氟化硅接触,以防止进一步腐蚀。穿戴防护设备,如手套、护目镜和防护服,以保护皮肤和眼睛。保障通风良好,避免吸入有害气体。2.清洗表面:在清洗四氟化硅的表面时,应利用碱性物质,如氢氧化钠溶液。以10%-20%浓度的氢...
中芯国际、台积电供应商中宁硅业启动IPO辅导 中国信达、上汽集团...
高纯四氟化硅气体是半导体集成电路行业中的一种重要原料,目前工业化生产主要集中在美国和日本,国内长期依赖进口(www.e993.com)2024年11月24日。2022年6月,中宁硅业完成了集成电路—高纯四氟化硅气体研发并全面投产,实现年产能300吨。据其副总经理郑安雄介绍,“目前,中宁硅业已经与中芯国际、京东方、台积电等泛集成电路行业领军企业建立了合作关系...
氟硅酸应用范围不断扩大,氢氟酸制取领域受到关注
氟硅酸,也称为硅氟氢酸,化学式为H2SiF6。无水氟硅酸外观为无色气体状,稳定性差,易分解。氟硅酸易溶于水,水溶液为无色透明状,是一种强酸,具有强腐蚀性,浓氟硅酸溶液为发烟液体,有刺激性气味,易挥发,受热易分解。氟硅酸可用作化工原料,用来生产氟硅酸盐,例如氟硅酸钠、氟硅酸钾、氟硅酸铵等,以及四氟化硅...
华特气体获220家机构调研:四氟化硅产品是公司今年研发的重点产品...
答:会区分是逻辑芯片还是存储芯片,在相同产能的情况下,存储芯片的气体用量比逻辑芯片的气体用量大2-3倍。问:13、公司在刻蚀类和CVD方面的气体发展情况?四氟化硅产品进展如何?答:公司氟碳类主要用在芯片刻蚀环节,公司在研项目中也主以芯片刻蚀类气体为主。CVD气体,像硅基类等,纯化的产品已有供应到下游,合成的...
...公司中宁硅业主要产品包括电子级硅烷、乙硅烷、电子级四氟化硅...
公司回答表示,您好,子公司中宁硅业主要产品包括电子级硅烷、乙硅烷、电子级四氟化硅等产品,高纯氟氮混合气产品现在进行客户端验证,预计明年年底要建成15种特用电子气体生产线。产品供不应求,利润率较高,已经与京东方、台积电等集成电路行业领军企业建立了合作关系,感谢关注。
半导体检测工业特种气体有哪些?
四氟化碳(CF4):作为等离子蚀刻工艺中常用的工作气体,是二氧化硅、氮化硅的等离子蚀刻剂。乙硼烷(B2H6):窒息臭味的剧毒气体。硼烷是气态杂质源、离子注入和硼掺杂氧化扩散的掺杂剂。四氟化硅(SiF4):遇水生成腐蚀性极强的氟硅酸。主要用于氮化硅(Si3N4)和硅化钽(TaSi2)的等离子蚀刻、外延沉积扩散的硅源和光导纤...