物元半导体申请基于关键尺寸扫描电子显微镜的堆叠误差测量与补偿...

专利摘要显示,本发明涉及一种基于关键尺寸扫描电子显微镜(CDSEM)的堆叠误差(Overlay)测量与补偿方法,包括如下步骤:按照设定的结构和/或尺寸和/或位置关系在芯片的不同层制备测试结构,该测试结构包含用于量测多个方向尺寸的特征;通过光刻曝光对芯片的前层和后层进行曝光,分别确定测试结构的两部分;刻蚀形成测试结构;使用...

芯片级拆解!35颗苹果Vision Pro 芯片型号供应商首次解密!显微镜看...

iFixit使用电子显微镜测量了红细胞大小的屏幕像素,同时屏幕实际发光部分的横向宽度约为27.5毫米,纵向高度约为24毫米,面积约为660平方毫米,1英寸的面积大约是645平方毫米,所以这块屏幕实际发光的区域略超过1英寸。具体来看每颗像素的结构,红色和绿色子像素纵向上下放置在一起,而蓝色子像素的长度大约是红色和绿色子像素的...

高质量发展看一线|米粒大小芯片开辟广阔空间 “芯动力”包头造

在包头市贝兰芯电子科技有限公司的产品展厅内，记者通过显微镜观察芯片上规则排序的键合丝，闪闪发亮的金属线在平时肉眼不可见的空间里大放光彩，让人切实感受到科技的“别有洞天”。米粒大小的芯片。贝兰芯项目负责人谭女士告诉记者：“芯片需要通过线材进行程序输入和输出，这些线材只有头发直径的1/6，键合就是将这些...

新的X射线世界纪录:以4nm的分辨率观察微芯片内部结构

一层又一层地添加和移除,直到完成芯片(智能手机和电脑的大脑)可以被切割和安装。制造过程繁琐复杂,表征和绘制最终结构也同样困难。扫描电子显微镜有几纳米的分辨率,因此非常适合对构成电路的微型晶体管和金属互连进行成像,但它们只能产生表面的二维图像。“电子在材料中传播得不够远,”SLS的物理学家MirkoHoller...

苏联电子技术世界领先,为什么俄罗斯造不出芯片?

随后西方又攻破了晶体管小型化、平面化技术,这使得将电路集中制造在半导体晶圆表面上的,在极小的区域内,融入海量的计算单元,这就是所谓的集成电路,或者通俗点,叫芯片。显微镜下的集成电路同样是1947年,苏联科学家也在秘密实验中,掌握了晶体管的原理和基本工作。但苏联仔细斟酌后,并没有继续发展晶体管,而是当做不...

DIC显微应变测试系统应用于芯片热膨胀与热翘曲测试

下面分别展示了采用XTDIC-MICRO显微应变测量系统,通过高放大倍数显微镜进行图像采集,经过漂移校正后,芯片热膨胀表面位移场数据,达到分析其相关热膨胀性能的目的(www.e993.com)2024年11月23日。另外,通过对电子芯片的高低温冲击分析,直观的展示出了电子芯片金属与聚合物层由于温度引起的变形梯度,XTDIC-MICRO系统可得到准确的测量值。

全球芯片正在破局……

（a）光刻胶组成;(b)光刻胶聚集态结构;(c)在不同衬底上加工的有机晶体管阵列；（d）有机晶体管阵列结构示意图及光学显微镜照片；（e）有机光电晶体管成像芯片（PQD-nanocellOPT）与现有商用CMOS成像芯片以及其他方法制造有机成像芯片的像素密度对比。图表来源：复旦大学官网团队负责人魏大程表示，他们正在积极...

150+院士专家和龙头企业分享:热管理材料的重点研发方向!

专注于声子工程领域的基础和应用研究,微纳导热、芯片热管理、热能转换和利用、机器学习交叉题目:扫描热显微镜的界面传热研究及其在微纳尺度热物性表征领域的应用李一凡,上海第二工业大学副教授扫描热显微镜的界面传热研究及其在微纳尺度热物性表征领域的应用...

散裂中子源:探索微观世界的超级显微镜

中子具备一些特性,如不带电,但是有磁矩;能够探测原子核的位置,探测同步辐射所不敏感的轻元素,比如碳、氢、氧、氮等元素的位置;穿透能力非常强,能够用来原位研究大的工程部件的残余应力和金属疲劳;可以探测物质结构的微观动态过程等。因此,它被科学家视作探索微观世界的理想“探针”。当中子与被研究对象的原子核相互...

武汉大学「国家杰青」团队,最新Nature大子刊,90后青年学者一作兼...

鉴于此,武汉大学何军教授、李叶生特聘副研究员展示了使用二维范德华金属材料(石墨烯或铂二碲化物)作为阴极可以创建具有模拟电阻开关和大开/关比的忆阻器。忆阻器使用银作为顶部阳极,使用铟磷硫化物作为开关介质。以前的方法主要通过改变电阻开关层或阳极来调节离子运动,这可以降低开/关比。相比之下,该方法依赖于范德...