热扫描探针光刻技术消除二维半导体材料-金属肖特基势垒——不止于...
2019年1月29日 - 仪器信息网
另一方面,从工作原理不难看出,热扫描探针光刻不需要额外的显影操作。只要是用高温纳米探针在热解胶表面一“画”,热解胶表面相应区域就会挥发掉,从而在表面留下痕迹。着眼于这一特点,Swisslitho的研发人员巧妙地在悬臂梁上集成了轮廓探测器,可以原位对热解胶表面留下的痕迹进行形貌表征,从而实现闭环图形加工功能。NanoFra...
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另一方面,从工作原理不难看出,热扫描探针光刻不需要额外的显影操作。只要是用高温纳米探针在热解胶表面一“画”,热解胶表面相应区域就会挥发掉,从而在表面留下痕迹。着眼于这一特点,Swisslitho的研发人员巧妙地在悬臂梁上集成了轮廓探测器,可以原位对热解胶表面留下的痕迹进行形貌表征,从而实现闭环图形加工功能。NanoFra...