东海研究 | 深度:光刻机:国产设备发展任重道远,零组件企业或将...
最后,由于角度太大加上折射效应,投影物镜内的光产生全反射而返回物镜内,无法成像,该方法失效;2)使用浸没式光刻在投影物镜和晶圆间加水,从而增大介质折射率(193nm波长激光中,空气=1,水=1.44,玻璃~1.5),实现等效波长为193/1.44=134nm。这就是浸没式光刻机的理论由来。(5)光刻机在ASML技术发展下不断迭代,最小...
EUV光刻新方案,大幅降低成本!
实际上,镜面是由多重反射层组成的,反射是由这些层之间的波干涉引起的,随着反射角度的变化,会产生振幅和相位差。我们需要进一步仔细模拟,包括多层反射层,这将导致非球面曲率的变化,尽管这种变化很小。实际上,我们需要用干涉仪在可见光波长下测量反射镜的质量。晶片侧是远心的,但掩膜侧不是。因此,主光线是倾斜的;...
Light | 世界最大碳化硅非球面反射镜的高精度制造
2、国际上一般利用CVD技术对大口径碳化硅非球面进行表面改性,通常需要对基底加热到600℃以上,所产生的大温度梯度容易导致反射镜发生不可逆变形;3、非球面反射镜制造难度与口径三次方成正比、碳化硅是已知最坚硬的四种无机材料之一,使用常规手段与工艺,加工难度高、收敛效率低,最终面形检测精度也受仪器动态范围、气流扰动...
我国成功研制世界最大口径单体碳化硅反射镜
日前从中国科学院获悉,由中国科学院长春光学精密机械与物理研究所承担的国家重大科研装备研制项目“4米量级高精度SiC非球面反射镜集成制造系统”通过项目验收。这是公开报道的世界上最大口径碳化硅单体反射镜,标志我国光学系统制造能力跻身国际先进水平,为我国大口径光电装备跨越升级奠定了坚实基础。4米口径高精度碳化硅非...
“天问一号”是如何把火星拍得那么美的?
离轴反射式光学系统(右)虽然离轴光学系统实现难度大,但其性能有很多过人之处。最重要的一点就是在离轴光学系统的成像光路中,任何一个反射镜不会对其他反射镜造成孔径遮拦,使光学系统有效口径降低,也就是我们通俗理解的“挡光”。光能量的收集能力(更严格意义的讲应该是“光学系统的有效口径”)决定着对光学系统的...
中国航天器的“瞳孔”将是全球最大
“大镜子”有什么用?它的“拍照效果”类似高质量成像镜头制造出这么大一面碳化硅反射镜可不是为了显摆,因为在航空航天领域,碳化硅反射镜可是大有用途(www.e993.com)2024年10月22日。李晋斌老师告诉记者,光学仪器分辨率会受到镜头尺寸的影响,口径越大的光学仪器,成像效果会更好。他做了一个通俗易懂的比方,碳化硅反射镜应用在航空航天领域,俨然...
【光明日报】我成功研制世界最大口径单体碳化硅反射镜
记者日前从中国科学院获悉,由中国科学院长春光学精密机械与物理研究所承担的国家重大科研装备研制项目“4米量级高精度SiC非球面反射镜集成制造系统”通过项目验收。这是公开报道的世界上最大口径碳化硅单体反射镜,标志我国光学系统制造能力跻身国际先进水平,为我国大口径光电装备跨越升级奠定了坚实基础。
汽车HUD行业研究:成本下降+体验提升,AR~HUD放量在即
消除画面畸变——自由曲面镜。HUD的第二个技术壁垒在于内置的自由曲面反射镜,挡风玻璃由于是不规则的自由曲面,正常投射的影像经过挡风玻璃反射后会形成画面畸变,这时候就需要自由曲面镜匹配汽车挡风玻璃面型以消除静态畸变、动态畸变、双眼视差等问题。自由曲面镜模具需要用精密仪器制造,做成纳米级,非球面镜需要一次成形...
万字长文:说透光刻机
图表55:基于微反射镜阵列的光瞳整形技术投影物镜系统:精准成像,对线宽起重要作用投影物镜是精准成像的关键:投影物镜要将照明模组发射出的1阶衍射光收进物镜内,再把掩膜版上的电路图案缩小,聚焦成像在晶圆上,并且还要补偿光学误差。投影物镜主要由多枚镜片组成。随着分辨率要求不断提高,光刻机投影物镜结构越来越复...
天问一号拍火星的相机不一般:200千米开外明察秋毫
光机结构是相机的“骨骼”,为光学、电子学和热控等系统提供支撑,确保光学系统位置状态的稳定。由于空间相机的光学系统极为精密,光学反射镜需要按设计位置高精度安放,才能确保光学系统良好的成像质量。火星探测器发射时,对相机的冲击震动极大,光机结构需要在剧烈变化的力学环境中,使相机中每个光学元件保持位置稳定性,确保...