等离子蚀刻未来,三巨头的观点
我们对低温等离子体表面相互作用过程的理解需要改进。此外,半导体行业一直在寻求能够更好地控制特征内蚀刻和沉积的新化学物质。由于等离子体-表面相互作用过程的复杂性以及蚀刻过程中狭窄特征内发生的动态的不确定性,等离子体蚀刻模型尚未达到可用于设计蚀刻工艺的阶段,除非进行大量实验指导的模型调整。最广泛使用的方法从具...
...物质科学研究院等离子体物理研究所 NNBI 真空抽气系统低温泵项目
2024年8月27日,根据中国政府购买服务信息平台公示,合肥聚能电物理高技术开发有限公司中标中国科学院合肥物质科学研究院等离子体物理研究所NNBI真空抽气系统低温泵项目,中标金额为386.2万元。本文源自:金融界作者:情报员
低温等离子体的特性能使材料表面发生哪些变化?
等离子体作用后,物体表面的污染物会变成颗粒和气体物质,然后通过抽真空排出,达到清洗的目的。一方面,当反应气体流入低温等离子清洗机时,它会被电离,形成高度活跃的自由基。待清洗物体表面的污染物会与活性自由基产生新的物质,氧离子与有机物之间的氧化反应会产生二氧化碳,氢离子与氧化物之间的还原反应会产生水。另一...
2.5亿元!浙江大学大批采购仪器
近日,浙江大学发布64项仪器设备采购意向,预算总额达2.50亿元,涉及扫描探针变温原位测量系统、聚焦离子束电子束双束显微镜、多离子源-多检测器飞行时间二次离子质谱、微量吸附量热仪、散射近场原子力显微镜等,预计采购时间为2024年10月~2025年6月。浙江大学2024年10月~2025年6月仪器设备采购意向汇总表...
中金公司:半导体真空零部件国产替代有望加速
真空系统通常由真空泵(低温泵、干泵、分子泵等)、真空阀门(隔离阀、传输阀、调压阀、插板阀等)、真空测量仪器(薄膜真空规、压力开关等)、真空腔体、真空管路及法兰等核心零部件构成。在半导体干法设备中通常需要在真空条件下利用高频高压使电极周围的气体电离形成等离子体,并对晶圆进行加工,因此真空系统在干法设备中...
预算3.0亿元!厦门大学近期大批仪器采购意向
1.隔膜真空泵(1)最大抽速:13.4m3/h(2)极限真空(绝压):1.5mbar2.发酵罐溶氧传感器(1)316L不锈钢结构可耐受CIP、蒸汽消毒或高压灭菌(2)测量技术:电化学/极谱;3.发酵罐pH电极(1)可反复的消毒和高压锅灭菌(2)pH范围:0-144.酸度计(1)测量范围:pH:-2.00-16.00;mV:-2000-2000V;温度:-...
西安新能源汽车废气处理技术方案|燃烧|vocs|西安咸阳国际机场...
核心处理:采用热力燃烧(如RTO/TO)、催化燃烧、低温等离子体或生物降解等方法,将VOCs分解为CO2和水等无害物质。后处理及排放:经过核心处理后,新能源汽车废气还需经过后处理设施(如洗涤塔)进一步净化,确保达到排放标准后排放。新能源汽车行业在大气治理中的应用场景包括使用新能源车辆进行短驳运输,减少污染物排放,以及...
盛美上海2024年半年度董事会经营评述
形成了具有国际领先的前道半导体工艺设备,包括清洗设备(包括单片、槽式、单片槽式组合、超临界CO2干燥清洗、边缘和背面刷洗)、半导体电镀设备、立式炉管系列设备(包括氧化、扩散、真空回火、LPCVD、ALD)、前道涂胶显影Track设备、等离子体增强化学气相沉积PECVD设备、无应力抛光设备;后道先进封装工艺设备以及硅材料衬底...
【安徽日报】春日“小岛”活力足
左桂忠和团队成员通过自主创新,研发了大抽速、大容量低温泵,发展超声分子束、弹丸注入等先进加料技术,率先开展了锂、硼等低Z材料调控EAST装置器壁环境实验,提升了真空系统性能,解决了长脉冲等离子体获得过程中杂质、燃料粒子再循环同步控制难题。左桂忠说:“EAST装置在腊月二十九就进入部分升级改造状态,为接下来冲击更...
可控核聚变产业专题报告:序章,聚变梦想,低碳未来
1)获得等离子体:在氘、氚燃料进入装置后,首先利用磁场生成的电场击穿燃料,将氘氚原子核的核外电子剥离,使其成为含原子核、电子的等离子体。2)持续加热至高温:利用中央螺线管的欧姆加热将真空室内温度加热至2000万度,再利用辅助加热系统加热,最终达到约1亿度的高温条件。3)发生聚变反应:用磁场对...