降低半导体金属线电阻的沉积和刻蚀技术

表格显示,相比大马士革沉积,使用IBE/PVD可降低67%的电阻从模型计算得出的电阻值表明,与传统的沟槽刻蚀+大马士革沉积方法相比,采用IBE/PVD制造方法可使电阻降低67%。这是因为IBE/PVD不需要氮化钽内衬层,且该过程中铜线电阻率较低。该结果表明,在金属线制造过程中,与大马士革填充相比,IBE/PVD可以降低电阻率,但代价是...

半导体金属行业深度报告:镓、钽、锡将显著受益于半导体复苏

各类电机系统:在5千伏以上的高压应用领域,半导体碳化硅功率器件在开关损耗与浪涌电压上均有应用,最大可减少92%的开关损耗,半导体碳化硅功率器件功耗降低效果明显,设备的发热量大幅减少,使得设备的冷却结构进一步简化,设备体积小型化,大大减少散热用金属材料的消耗。新能源汽车及不间断电源等电力电子领域:新能源...

电缆直径、载流量该怎么计算?(附超全对照表)

纯银线在0℃的电阻率是0.016Ω.mm??/m(欧姆米),纯铜线在0℃时的电阻率是0.0175Ω.mm??/m(欧姆米),电阻温度系数是0.00393/℃。纯铝线在0℃的电阻率是0.0283Ω.mm??/m(欧姆米),ρ=ρo(1+a*t)式中ρ——在t摄氏度时的电阻率ρo——在0℃时的电阻率t——温度纯铜线在21℃度时的...

粉末电阻率&压实密度在质量监控中的应用探究

如表1为NCM样品30天电阻率测试数据分析汇总表格,从测试数据可以看出该粉体样品的电阻率均随压强的增大而降低,且其变异系数COV的分析结果上看,低压强12MPa下30天测试数据的COV为4.13%,高压强180MPa下为2.28%,整体测试重复性均在较好的水平,但严格来对比,低压强下重复性COV偏大,这主要是因为在实际电阻率测定过程中...

3nm后的芯片应该怎么连

上图是试做的铜(Cu)、钴(Co)、钌(Ru)材质的可以连接M1和M3的超级导孔。上面的表格是Barrier层、Liner、排线金属、成膜方法。下面的图片为在EDS设备和电子显微镜下观察的断面图像后来,又试做了钌材质多层排线,并比较了采用之前的技术叠加导通孔和超级导通孔情况下,连接M1和M3的导孔的电阻值。M1和M3为互相平行...

2024年南京邮电大学硕士研究生考试大纲

1.电学性质的表述(电导率、电阻率、电子导电、离子导电等)2.固体的能带理论3.金属与半导体的电导率4.绝缘体的电导率和介电性《物理化学》考生大纲一、基本要求1.掌握热力学研究方法的特点,理解热力学基本原理,并运用热学基本原理和方法处理溶液、相平衡、化学平衡、电化学和表面物理化学等方面的一...

不会进行油冷电驱用油选择?是因为你没有搞懂这11点

转子、电机轴、轴承形成闭合回路,轴承滚珠与滚道内表面为点接触,若轴电压过高,容易击穿油膜后形成回路,轴电流出现导致轴承腐蚀,那么对于这个位置,轴电压是会持续存在的,而轴承这个位置又需要长时间保证润滑,所以,润滑油的电阻率会直接决定轴电流的大小,我们了解到基于此,我们也需要限定油品的电阻率。

建筑电气强电标准设计说明(最新模板),赶紧收藏吧!|电缆|玻璃|配电...

B.引下线3m范围内地表层的电阻率不小于50kΩm,或敷设5cm厚沥青层或15cm厚砾石层;3外露引下线,其距地面2.7m以下的导体用耐1.2/50us冲击电压100kV的绝缘层隔离,或用至少3mm厚的交联聚乙烯层隔离。2)防跨步电压应符合下列规定之一:a.利用建筑物四周或建筑物内的金属构架和结构柱内的钢筋作为自然引下线...

锂电池行业复合铜箔全产业链分析:优势突出空间广阔加速突破

高纯铜材料具有电阻率低、导电性好等优势。靶材市场集中度高，主要被世界巨头垄断。国内市场起步较晚，少数厂商突破技术门槛。目前，全球溅射靶材市场的龙头企业主要有JX日矿金属、霍尼韦尔、东曹和普莱克斯，市场份额分别为30%、20%、20%和10%，合计垄断了全球80%的市场份额。国内企业虽然处于国产替代...

民用机场目视助航设施 施工质量验收规范

合格率%抽测点,合格点,合格率%施工单位检查评定结果项目专业质量检查员:年月日监理(建设)单位验收结论监理工程师(建设单位项目专业技术负责人)年月日-3-工程名称施工单位附录A检验批质量验收记录分项工程名称立式灯具,设备安装专业工长检验批部位项目经理表A-4施工执行...