专家约稿|微电子大马士革工艺的发展现状
2023年7月11日 - 仪器信息网
原材料成分精确的检测方法有:电感耦合等离子体质谱分析(ICP-MS),原子发射光谱分析(OES),X射线荧光分析(XRF)等。而我们常用的电镜能谱(EDX)精度较低,X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、红外光谱(FTIR)等方法检测对象较局限,不推荐用于原料成分的精细检测。3.5等离子体损伤难题[8]2019年,中科院大学的赵...
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揭秘!热电材料研究实验室仪器配置清单
2021年3月3日 - 仪器信息网
制造与集成方面的研究,主要内容包括:1.声子液体电子晶体材料(类液态材料);2.类金刚石结构;3.笼状化合物;4.有机热电材料和有机/无机复合热电材料;5.热电薄膜与微型热电薄膜器件;6.高性能热电器件设计与制造技术;7.热电空调/发电系统设计与集成技术;8.热电材料与器件测量技术。
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