惠然微电子亮相无锡半导体展会 呈现最新量检测技术成果
惠然微电子研发的“赋”系列CD-SEM设备,利用先进的电子束扫描成像技术,对光刻胶线条宽度进行关键尺寸的在线量测,并于设计尺寸实时比对避免偏离,实现关键工艺参数的监控,是提高芯片制造良率、维持产品质量一致性的关键设备。其中6/8inchCD-SEM可兼容6/8寸晶圆,适用于第三代半导体芯片的量测。EBI电子束检测设...
2nm的大挑战_财经频道_证券之星
西门子EDA的CalibreSemiSolutions晶圆厂解决方案总监LeHong表示:“光学检测过程通常被认为是缺陷检测的主力,但在波长和分辨率方面面临限制。随着先进节点中关键尺寸的不断缩小,光学检测正被推向极限。尽管吞吐量有所提高,但全芯片和全晶圆电子束检测在为大批量生产做好准备之前还有很长的路要走。”此外,优...
预算9284万元!陕西师范大学近期大批仪器采购意向
离子色谱:主要用于土壤和水体中的有害物质,用于检测出土壤中的有害物质,如重金属离子、有机酸离子等,通过精确测定这些离子污染物的含量和种类,可以全面了解土壤污染状况,评估土壤肥力状况。用于快速分析出水体中的污染物种类和浓度,为水质净化提供参考。1782024年10月13多功能粒径及形态分析仪多功能粒径及形...
热烈庆祝惠然微电子全自主研发关键尺寸量测设备CD-SEM出机
2024年6月14日,惠然微电子顺利出机全自主研发的首台半导体关键尺寸量测设备(CriticalDimensionScanningElectronMicroscope,简称CD-SEM),标志着公司在半导体量检测领域取得了阶段性突破,为半导体量检测设备的国产化注入了新的活力。芯片制造需要上千道工序,其中光刻机、刻蚀机、薄膜沉积和量检测设备是半导体晶圆制...
国产!惠然微电子全自主研发半导体关键尺寸量测设备CD-SEM出机
导读:2024年6月14日,惠然微电子顺利出机全自主研发的首台半导体关键尺寸量测设备(简称CD-SEM),标志着公司在半导体量检测领域取得了阶段性突破,为半导体量检测设备的国产化注入了新的活力。2024年6月14日,惠然微电子顺利出机全自主研发的首台半导体关键尺寸量测设备(CriticalDimensionScanningElectronMicroscope,...
日立推出CD-SEM新品GT2000,满足高NA值EUV器件开发和量产需求
注:CD-SEM(特征尺寸测量用扫描电子显微镜):一种设计用于对晶圆上形成的精细半导体电路图案的尺寸进行高精度测量的设备(www.e993.com)2024年10月18日。High-NA(数值孔径)EUV(极紫外):与传统设备相比,具有改进的数值孔径的极紫外(13.5nm波长)光刻设备。研发背景随着半导体器件制造工艺的发展,N2(2nm制程节点)和A14(14埃制程节点)的研发正在...
文章推荐|钢制凹底气瓶疲劳掉底原因分析|金相|试样|热处理|拉应力...
2只气瓶的基本参数及其疲劳试验参数见表1。其中,疲劳试验按照标准GB/T9252—2017[3]进行,规定的压力循环次数为12000次。疲劳试验采用的设备是经过国家检测机构认可的设备。表1气瓶主要参数A瓶与B瓶的样瓶拉伸试验与冲击试验结果见表2、表3。各项机械性能均符合标准GB/T5099.1—2017规定。
SEM表征检测主要检测什么?
(2)如晶粒尺寸小于1μm,也可用破碎等机械方法制成粉末来观察;(3)无磁性;广东省华南检测技术有限公司SEM材料表面表征:提供表面分析、显微检测及材料分析,为高科技行业提供支持.材料内部表征:提供纵向分布分析、薄膜镀层分析、失效分析、颗粒缺陷和残留物分析、晶体结构分析、粗糙度测量和热性能分析、复杂工程问题解决...
精测电子:上海精测的主要产品有膜厚量测系统、光学关键尺寸量测...
精测电子(300567.SZ)9月21日在投资者互动平台表示,现阶段,上海精测的主要产品有膜厚量测系统、光学关键尺寸量测系统、电子束缺陷检测系统、明场晶圆有图形缺陷检测设备、大硅片应力形貌量测设备等,其中电子束产品主要属于电子束晶圆缺陷复查设备(ReviewSEM)。
电子束量测重大进展,东方晶源首台 8 英寸关键尺寸量测装备(CD-SEM...
IT之家4月1日消息,据东方晶源发布,近日,东方晶源首台8英寸关键尺寸量测装备(CD-SEM)出机国内集成电路制造和整体方案提供商燕东微电子。自2021年6月首台12英寸CD-SEM出机后,东方晶源在电子束量测领域再次取得重大进展。东方晶源首台8英寸关键尺寸量测设备(型号:SEpA-c300)基于东方晶源...