光刻机像质检测技术(上、下册)|周末读书

宋代大诗人陆游有两句很有名的诗:“纸上得来终觉浅,绝知此事要躬行”。我们应该牢记这条古训。正反两个方面的历史经验都告诉我们,不能老是坐而论道,掌握新技术、创造新技术的必要条件是干,是实践。新中国的科学技术,特别是其中的技术科学和工程科学,基本都是用任务带学科(老一辈科学家的总结)发展起来的,这一光...