为什么等离子清洗技术比传统湿法技术更有优势?
湿法化学清洗通常效率较低,且可能存在无法全面清洗不规则形状产品的问题。六、低成本等离子清洗需要控制的真空度约为100Pa,这种清洗条件很容易达到。因此这种装置的设备成本不高,加上清洗过程不需要使用价格较为昂贵的有机溶剂,这使得整体成本要低于传统的湿法清洗工艺;综上所述,等离子清洗在清洗过程控制、干燥处理...
华海清科:12英寸单片终端清洗机出货
华海清科9月26日公告,近日,公司首台12英寸单片终端清洗机HSC-F3400机台出机发往国内大硅片龙头企业。HSC-F3400机型配备了新型清洗模块、干燥模块及颗粒与金属污染控制系统,可稳定实现大硅片正面及背面的高效率超洁净清洗。该产品是公司继CMP设备、减薄设备之后,在湿法设备系列产品中的又一重要布局,对公司未来的...
《2024版中国兆声波清洗机行业市场分析研究报告》—智研咨询发布
盛美上海成立于2005年,公司主要从事对先进集成电路制造与先进晶圆级封装制造行业至关重要的单晶圆及槽式湿法清洗设备、电镀设备、无应力抛光设备、立式炉管设备和前道涂胶显影设备和等离子体增强化学气相沉积设备等的开发、制造和销售,公司通过自主研发并具有全球知识产权保护的SAPS和TEBO兆声波清洗技术,解决了兆声波技术...
兆声波清洗机行业现状!2024年中国兆声波清洗机行业市场研究报告...
盛美上海成立于2005年,公司主要从事对先进集成电路制造与先进晶圆级封装制造行业至关重要的单晶圆及槽式湿法清洗设备、电镀设备、无应力抛光设备、立式炉管设备和前道涂胶显影设备和等离子体增强化学气相沉积设备等的开发、制造和销售,公司通过自主研发并具有全球知识产权保护的SAPS和TEBO兆声波清洗技术,解决了兆声波技术在...
北方华创:穿行于半导体周期的舞者
目前,北方华创得设备产品涵盖锂电设备和半导体设备,此外也涉及高能物理、航空航天、电真空器件、光伏材料、高端磁性材料等领域;公司锂电设备产品服务于锂离子动力电池及储能电池领域,与国内主要锂电池厂家建立了合作关系。第三代半导体方面,公司SiC刻蚀、GaN刻蚀、介质刻蚀、PECVD、PVD以及湿法清洗机等关键制程设备成为行业主...
华海清科:公司积极开展清洗设备的研发工作,是公司立足产业化...
华海清科董秘:尊敬的投资者您好,目前公司湿法设备包含清洗设备及供液系统,其中清洗设备已批量用于公司晶圆再生生产,2023年,首台12英寸单片终端清洗机HSC-F3400机台出机发往国内大硅片龙头企业进行验证;应用于12英寸集成电路FEOL/BEOL晶圆正背面及边缘清洗的清洗机已完成装配;用于湿法工艺设备中研磨液、清洗液等化学品...
芯源微(688037.SH):公司生产的前道物理清洗机、后道湿法类设备已...
芯源微(688037.SH)回复称,"公司已掌握清洗领域多项核心技术,在晶圆正反面颗粒清洗、化学药品精确供给及回收、内部微环境精确控制等技术方面已达到国际先进水平。近年来公司生产的前道物理清洗机、后道湿法类设备已成为国内主流产品,公司后续也将推出化学清洗机产品,进一步丰富产品线。感谢您提供的宝贵建议!"...
北方华创:公司提供的清洗设备包括湿法清洗机和干法清洗机两类
原标题:北方华创(340.110,-13.30,-3.76%):公司提供的清洗设备包括湿法清洗机和干法清洗机两类来源:同花顺(98.030,-1.63,-1.64%)金融研究中心同花顺金融研究中心7月12日讯,有投资者向北方华创提问,您好,请问贵公司的清洗机,是用在哪个环节。清洗机的清洗原理,用的哪种路线?
投资者提问:公司的湿法设备目前主要是清洗机对吗?有无向去胶机和...
公司的湿法设备目前主要是清洗机对吗?有无向去胶机和刻蚀机扩展的打算?清洗机能满足前道晶圆加工环节的多少nm的工艺制程?谢谢!董秘回答(至纯科技(20.900,-0.33,-1.55%)SH603690):尊敬的投资者您好,目前公司的湿法设备已可实现去胶和刻蚀的工艺,在技术储备上,公司可满足14nm的工艺制程,但需要客户提出相应的需...
微波等离子清洗机与传统湿法清洗机相比有什么特点?
微波等离子清洗机作为一种绿色无污染的高精密干法清洗方式,可以有效去除表面污染物,避免静电损伤。简述了微波等离子清洗机的原理及特点,介绍了设备的构成、清洗工艺和模式,对微波导入和微波源与负载的匹配两个关键技术进行了研究;通过工艺验证,微波等离子清洗机降低了接触角度,提高了引线键合强度。