创芯未来 鹏城半导体亮相22碳基半导体材料与器件产业发展论坛
2022年7月21日 - 网易
靶材和靶面直接做到面接触是很难的,如果做不到面接触,接触电阻将增大,导致离化电场的幅值不够(接触电阻增大,接触面的电场分压增大),导致镀膜效果不好;电阻增大导致靶材发热升温,降低镀膜质量。靶材和靶面接触不良,导致水冷效果不好,降低镀膜质量。增加一层特殊导电导热的软薄的物质,保证面接触。距离可调整:基片和...
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靶材和靶面直接做到面接触是很难的,如果做不到面接触,接触电阻将增大,导致离化电场的幅值不够(接触电阻增大,接触面的电场分压增大),导致镀膜效果不好;电阻增大导致靶材发热升温,降低镀膜质量。靶材和靶面接触不良,导致水冷效果不好,降低镀膜质量。增加一层特殊导电导热的软薄的物质,保证面接触。距离可调整:基片和...