同济团队研发纳米制造精准“标尺”,相当于把一个蛋糕按扇形均分成...

二维铬纳米栅格的结构面积一般为300μm（微米）×300μm（微米），在没有划伤或破坏的状况下，每次使用2μm×2μm，不重复使用测量区域次数可达20000次以上。可应用于晶圆级原子力显微镜、扫描电子显微镜等集成电路微纳检测设备校准；也可应用于对超精密位移传感器多种参数的光栅干涉法校准。上月，同济大学和德国联邦...

同济大学自主研发国内首个纳米制造精准“标尺”

二维铬纳米栅格的结构面积一般为300μm（微米）×300μm（微米），在没有划伤或破坏的状况下，每次使用2μm×2μm，不重复使用测量区域次数可达20000次以上。可应用于晶圆级原子力显微镜、扫描电子显微镜等集成电路微纳检测设备校准；也可应用于对超精密位移传感器多种参数的光栅干涉法校准。上个月，同济大学和德国...

国内首次!同济自主研制纳米级角度国家一级标准物质

二维铬纳米栅格的结构面积一般为300μm(微米)×300μm(微米),在没有划伤或破坏的状况下,每次使用2μm×2μm,不重复使用测量区域次数可达20000次以上。·可应用于晶圆级原子力显微镜、扫描电子显微镜等集成电路微纳检测设备校准;·也可应用于对超精密位移传感器多种参数的光栅干涉法校准。上月,同济大学和德...

我国首次建立纳米级角度国家一级标准物质,背后是同济大学科研团队

二维铬纳米栅格的结构面积一般为300μm(微米)×300μm(微米),在没有划伤或破坏的状况下,每次使用2μm×2μm,不重复使用测量区域次数可达20000次以上。团队成员介绍,维铬纳米栅格标准物质既可应用于晶圆级原子力显微镜、扫描电子显微镜等集成电路微纳检测设备校准,也可应用于对超精密位移传感器多种参数的光栅干涉法...

国内首次!同济自主研制!

二维铬纳米栅格的结构面积一般为300μm(微米)×300μm(微米),在没有划伤或破坏的状况下,每次使用2μm×2μm,不重复使用测量区域次数可达20000次以上。·可应用于晶圆级原子力显微镜、扫描电子显微镜等集成电路微纳检测设备校准;·也可应用于对超精密位移传感器多种参数的光栅干涉法校准。

亚纳米皮米激光干涉位移测量技术与仪器

亚纳米皮米激光干涉位移测量技术与仪器导读:激光干涉位移测量技术因具有大量程、高分辨力、非接触式及可溯源性等特点,成为当前与下一代高端装备、超精密计量的基础性技术之一(www.e993.com)2024年11月10日。1引言激光干涉位移测量技术具有大量程、高分辨力、非接触式及可溯源性等优势,广泛应用于精密计量、微电子集成装备和大科学装置等领域,...

实现对纳米结构间距变化亚皮米精度的测量

新闻网讯(通讯员张一飞)国际权威期刊NatureCommunications(《自然??通讯》)发表徐红星院士研究组在表面等离激元光学传感研究方面取得的突破性进展,实现对纳米结构间距变化亚皮米(1皮米=10-12米)精度的精确测量。论文题为Probingofsub-picometerverticaldifferentialresolutionsusingcavityplasmons(《利用腔等离激...

上交学者攻克玻璃材料90年待解难题,突破三维空间单原子皮米级分辨...

图丨(a,b)高精度AET方法原理示意图;(c-e)从左到右分别为实验测量的无定形态钽薄膜、钯纳米颗粒和多组分合金颗粒的三维原子结构AET方法由在加州大学洛杉矶分校做博后时的导师教授提出。该方法简单来说就是,如果想要得到一个物体的三维结构,可以通过测量物体在不同旋转角度下的投影,再通过计算的方法,将这一...

eLight·封面 | 皮米级微纳光纤锥光谱仪

针对上述问题,浙江大学马耀光研究员带领的纳米光学团队提出了一种基于微纳光纤泄漏模的微型光谱仪(如图1所示)。该光谱仪以极低的制造难度与成本(核心部件价格不超过15美元),在亚毫米级的空间尺度下实现了皮米级的波长分辨能力。图1:光谱仪结构。(a)微型光谱仪图片(b,c)微纳光纤锥区泄漏模图案映射在衬底上的侧...

全球首款1纳米以下制程光刻机:线宽只有两个原子

上周，美国公司ZyvexLabs宣布推出世界上分辨率最高的光刻系统——ZyvexLitho1，该工具使用量子物理技术来实现原子精度的电路打印和亚纳米（768皮米——Si1002×1二聚体行宽度）分辨率。这一进步可能会让量子计算机能够为真正安全实用的通信方式，推动更快的药物发现以及更准确的天气预报。与当前ASML等公司...