第五届“6·18”国外电子信息产业项目成果
2007年2月8日 - 福建省人力资源和社会保障厅
Mg2Si+4NH4ClSiH4+2MgCl2+4NH3(2)冶金硅生产半导体多晶硅的方法在技术上比较复杂,生产制作需要大量的资本投入,商业生产的生产费用也颇巨。而且生产技术,尤其是氯化阶段还会产生污染。俄罗斯专家已开发出另一种更加完美的半导体多晶硅生产的电解法,这种方法被称为"Karelin-process"(卡列林过程法),其基本内...
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Mg2Si+4NH4ClSiH4+2MgCl2+4NH3(2)冶金硅生产半导体多晶硅的方法在技术上比较复杂,生产制作需要大量的资本投入,商业生产的生产费用也颇巨。而且生产技术,尤其是氯化阶段还会产生污染。俄罗斯专家已开发出另一种更加完美的半导体多晶硅生产的电解法,这种方法被称为"Karelin-process"(卡列林过程法),其基本内...