华林科纳共注入BOE的化学实验报告
2022年2月7日 - 网易
华林科纳共注入BOE的化学实验报告缓冲氧化物蚀刻(BOE)是一种广泛应用于半导体行业的蚀刻解决方案,通过光刻胶掩模蚀刻氧化物层,我们使用计算的主要结果,通过ATMELFab7现场的实验实现,来测试共注入BOE的性能。在我们的例子中,氢氧化铵将是保持最终溶液酸性的限制因素(少数),为了确保蚀刻步骤有过量的HF,必须制备混合物...
详情
华林科纳共注入BOE的化学实验报告缓冲氧化物蚀刻(BOE)是一种广泛应用于半导体行业的蚀刻解决方案,通过光刻胶掩模蚀刻氧化物层,我们使用计算的主要结果,通过ATMELFab7现场的实验实现,来测试共注入BOE的性能。在我们的例子中,氢氧化铵将是保持最终溶液酸性的限制因素(少数),为了确保蚀刻步骤有过量的HF,必须制备混合物...