东海研究 | 深度:光刻机:国产设备发展任重道远,零组件企业或将...
最后,由于角度太大加上折射效应,投影物镜内的光产生全反射而返回物镜内,无法成像,该方法失效;2)使用浸没式光刻在投影物镜和晶圆间加水,从而增大介质折射率(193nm波长激光中,空气=1,水=1.44,玻璃~1.5),实现等效波长为193/1.44=134nm。这就是浸没式光刻机的理论由来。(5)光刻机在ASML技术发展下不断迭代,最小...
EUV光刻新方案,大幅降低成本!
必须引入非球面反射镜来校正像差,但由于自由非球面参数数量有限(仅有两个反射镜可用),数值孔径和视场大小受到限制。等半径结构被命名为MET:2008年,R.M.Hudyma和R.Soufli作为超紫外投影物镜对其进行了仔细研究。数值孔径(NA)为0.3的MET是为了演示30纳米半间距成像而设计的。其中一个设计假定...
新品盘点(下)|2023年光谱仪器:跨越领域创新无限
4730FG拥有全新设计的非球面全反射成像光学系统,非球面反射镜校正了像散,全反射消除了色差,单色仪入口的光斑直径仅3mm,有效提高了光能利用效率。石墨炉控制系统集成到主机内,实现真正意义上的火焰石墨炉一体机。火焰乙炔采用EFC(ElectronicFlowController)电子流量控制器控制,实现流量连续可调且流量稳定,当外部输入压力变...
Light | 世界最大碳化硅非球面反射镜的高精度制造
2、国际上一般利用CVD技术对大口径碳化硅非球面进行表面改性,通常需要对基底加热到600℃以上,所产生的大温度梯度容易导致反射镜发生不可逆变形;3、非球面反射镜制造难度与口径三次方成正比、碳化硅是已知最坚硬的四种无机材料之一,使用常规手段与工艺,加工难度高、收敛效率低,最终面形检测精度也受仪器动态范围、气流扰动...
4米大口径碳化硅非球面光学反射镜研制成功
—大口径碳化硅非球面加工检测以及高性能改性、镀膜。会上,中科院长春光机所承担的“4m量级高精度SiC非球面反射镜集成制造系统”项目通过了验收。验收专家组认为,该项目形成了大口径系列反射镜研制能力,是我国在大口径光学制造领域的重大技术突破。图片版权归原作者所有,如有侵权请联系我们,我们立刻删除。
4米碳化硅反射镜落成 中国航天器的“瞳孔”将是全球最大
反射镜加工流程加工工序十分复杂:原始的镜坯背面被安装上高精度的结构件;正面被加工成非球面面形,在整个4米口径范围内面形精度在20nmRMS以内;并且需要通过改性、镀膜等工艺,改善表面缺陷、提高镜面反射率(www.e993.com)2024年10月22日。同时采用摆臂轮廓仪检测、光学零位补偿干涉测量等先进检测技术,实现对4米反射镜的原位检测。应力盘抛光磁...
谁架起了我们与星空的桥梁?|牛顿|反射镜_新浪科技_新浪网
没有透镜的反射望远镜比简单的折射望远镜能产生更清晰的图像。然而,直到1721年,也就是在牛顿制造出第一台望远镜的50多年后,英国发明家约翰·哈德利(JohnHadley)才成功地制造出了一台大型牛顿反射望远镜(并且没有采用牛顿设计的球面镜)。英国皇家学会的成员用克里斯蒂安·惠更斯(ChristiaanHuygens)的120英尺长的折射望...
【中国新闻网】中国研制成功世界最大口径单体碳化硅反射镜
中科院长春光机所研制成功的直径4.03米口径高精度碳化硅非球面反射镜。孙自法摄中科院长春光机所研制成功的直径4.03米口径高精度碳化硅非球面反射镜。孙自法摄历时15年探索攻关、9年立项研制,中国科学家打破国外技术封锁和产品垄断,研制成功世界上迄今公开报道的最大口径单体碳化硅(SiC)反射镜——直径4.03米口径高精度...
中国又一个世界第一,长春光机所造出4M口径碳化硅非球面反射镜
长春光机所先进光学系统制造研究团队经过近20年技术攻关,攻克了大口径碳化硅镜坯制备、加工工艺、检测方法、改性镀膜等核心关键技术,突破了高结构刚度复杂曲面碳化硅光学反射镜先进制造技术,建立了4m量级大口径碳化硅非球面反射镜全链路集成制造系统,完成了世界最大口径碳化硅非球面反射镜的高精度制造。
【光明日报】我成功研制世界最大口径单体碳化硅反射镜
4米口径高精度碳化硅非球面反射镜张译心摄/光明图片研究人员在观察加工中的碳化硅反射镜张译心摄/光明图片记者日前从中国科学院获悉,由中国科学院长春光学精密机械与物理研究所承担的国家重大科研装备研制项目“4米量级高精度SiC非球面反射镜集成制造系统”通过项目验收。这是公开报道的世界上最大口径碳化硅单体反射...