物元半导体申请基于关键尺寸扫描电子显微镜的堆叠误差测量与补偿...

包括如下步骤：按照设定的结构和/或尺寸和/或位置关系在芯片的不同层制备测试结构，该测试结构包含用于量测多个方向尺寸的特征；通过光刻曝光对芯片的前层和后层进行曝光，分别确定测试结构的两部分；刻蚀形成测试结构；使用扫描电子显微镜分别测量前层和后层的测试结构的关键尺寸；根据测量关键尺寸，计算后层结构...

量子之尺(一)精密测量,早已进入量子时代

目前,全新定义的国际单位制包括7个基本物理量,它们分别是长度、质量、时间、电流、温度、物质的量、发光强度,而相应的基本单位依次为:米(m)、千克(kg)、秒(s)、安培(A)、开尔文(K)、摩尔(mol)和坎德拉(cd)。为了方便大家熟悉它们各自的单位定义和定义所依据的自然常数,我们梳理了一张采用全新量子化定义的国际...

150+院士专家和龙头企业分享:热管理材料的重点研发方向!

承办单位深圳市德泰中研信息科技有限公司支持媒体DT新材料,洞见热管理,胶我选,热设计网,中国粉体网,粉体圈,产品工程技术,飞驰动力、DTDATA,储能热管理,易贸汽车,车乾信息,中国热管理网,新能源热管理技术Level,分析测试百科网,化工仪器网,数据中心世界,夯邦,Carbontech,DT半导体,材视,芯材,莱歌数字,科学桥,蓄...

量子度量衡!精准测量过去测不到的信号

举个例子,我们使用的标准毫米尺,其相邻的两个最小刻度之差为1毫米,即标准毫米尺的分辨率为1毫米(1000微米),还远远没有达到精密测量的要求。而标准的光学精密显微镜,其分辨率通常在0.2—0.4微米。因此,标准的光学精密显微镜可以归类为经典精密测量方案。我们的很多实验都使用到了这些人造测量工具,然而,人造的测量工具...

领创北京 | 解码坚冰|探针|量子|晶体|显微镜|氢原子_网易订阅

江颖坚信,眼见为实。他说,在微观世界里,扫描探针显微镜就是科学家研究表面结构的一双可靠的“眼睛”。这类显微镜的前端有一根原子级尖锐的探针,通过它去触碰物体表面,就可以得到原子级的形貌特征,从而探测结构。在很长一段时间里,我国使用的高端扫描探针显微镜依赖进口,由于空间分辨率和传感器灵敏度的局限,就算拥有了...

测量翡翠手镯尺寸的仪器,专业翡翠手镯尺寸测量仪器,轻松掌握更佳...

显微镜是测量翡翠尺寸的常用仪器之一(www.e993.com)2024年11月3日。翡翠的尺寸测量主要包含长度、宽度和高度三个方面。通过显微镜放大翡翠样品的图像,可以清晰地观察和测量翡翠的各个尺寸。利用显微镜测量翡翠尺寸时,首先要将翡翠样品放在显微镜下,调节显微镜的放大倍数,使得翡翠的细节可以清晰可见。然后利用显微镜上的刻度尺或测尺测量翡翠的长度、宽度...

技术|SiC功率器件中的沟槽结构测量

这适用于临界尺寸扫描电子显微镜(CD-SEM)和基于图像的显微镜等方法。因此,制造商已转向OCD进行尺寸计量。OCD提供耗时不到一秒的无损测量,具有埃级重复性的高精度,并且是一种数据丰富的计量技术,能够在复杂的3D结构中同时测量数十个参数。对于专为功率器件市场设计的OCD系统,制造商经常使用光谱椭偏仪(...

研究级倒置生物荧光显微镜-徕科光学-新品

徕科光学研发的LK-YG91倒置生物荧光显微镜,搭载无限远色差校正光学系统,清晰明亮的显微图像,简单稳定的操作。专为细胞组织的培养观察而设计,高对比度,高分辨率,凸显细胞轮廓和内部结构;并可实现明场、荧光、相衬等观察方法,满足实验室日常工作及基础研究的需求。

进一步明确各级疾控实验室仪器清单!《疾病预防控制机构食品安全和...

第二条地方各级疾病预防控制机构依法依规在卫生健康行政部门和疾控行政部门的统一领导、协调或委托下,承担食品安全风险监测、风险评估、食品安全事故流行病学调查、标准宣贯和制定修订、国民营养计划和合理膳食行动、不同人群营养健康监测、营养健康队列调查、食物成分监测、食物消费量调查、总膳食研究、食品安全与营养风险...

5,000道质量检测工序背后的「黑科技」了解一下

「我的眼睛就是尺」冲压件质量的优劣直接影响了汽车的安全性能和外观颜值。蔚来冲焊联合测量中心采用了先进的冲压自动蓝光测量系统,搭载蓝光测头的7轴机器人,通过蓝色结构光投影技术,依靠高分辨率双目相机捕捉冲压件表面图像,计算出冲压件表面的三维数据,精度可达0.05mm。它可以对不同形状的尺寸进行测量,并有着超高的...