第五届“6·18”国外电子信息产业项目成果
2007年2月8日 - 福建省人力资源和社会保障厅
氟化反应分两个阶段进行:首先,源浓缩物进入从第一阶段氟化反应的技术气体中结合大量氟的阶段。之后,这些部分氟化的浓缩物被导入一个喷射反应器中进入氟化阶段。在气态氟环境下,二氧化硅立即燃烧,反应实际在7-10秒钟内全部完成。反应区的温度达到1500~2000摄氏度,而设备壁的温度由于经二氧化硅与氟反应的一个绝缘壁流入...
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氟化反应分两个阶段进行:首先,源浓缩物进入从第一阶段氟化反应的技术气体中结合大量氟的阶段。之后,这些部分氟化的浓缩物被导入一个喷射反应器中进入氟化阶段。在气态氟环境下,二氧化硅立即燃烧,反应实际在7-10秒钟内全部完成。反应区的温度达到1500~2000摄氏度,而设备壁的温度由于经二氧化硅与氟反应的一个绝缘壁流入...