官宣!中国光刻机实现重大突破,成全球唯一具备完整生产线的国家
但随着2024年9月9日工业和信息化部发布的一项通知,中国已成为全球唯一拥有完整光刻机生产线的国家,这一成就不容小觑!一、中国研发光刻机的必要性在当今信息化时代,微小的芯片就像人的心脏一样重要,它们是维持信息化环境活力的关键。因此,推动“中国芯”的发展一直是国家的重点任务之一,为此投入了大量的资源。
骄傲!官宣中国光刻机有重大突破,成为全球唯一生产线完整的国家
目前,全球最先进的光刻机——荷兰ASMLTWINSCANEXE:5000,从数据对比来看,晶圆直径几乎一致,但在照明波长、分辨率和套刻方面仍存在显著差异,相差达到8倍之多。排名第二和第三的分别是日本的尼康和佳能,但显然我国的产品在分辨率及刻录技术上远超佳能,几乎已经跻身全球前三名。尽管与荷兰的ASML相比,我国的产品...
国产氟化氩光刻机公开:科技自立自强的里程碑
光刻机之所以重要,是因为它是芯片制造的核心设备之一。全球范围内,荷兰的ASML公司长期占据光刻机市场的霸主地位,特别是它的极紫外(EUV)光刻机,更是顶尖芯片制造商的必备之选。不过啊,这玩意儿技术门槛高,价格也不菲,不是谁都能轻易搞定的。二、荷兰禁令来了,咱们怎么办?最近啊,荷兰那边出了个新禁令,...
EUV光刻机突破中的科技与产业创新是如何融合的?
1994年,美国联邦政府首次资助一个大型EUV光刻项目,美国能源部(DOE)所属桑迪亚国家实验室(SNL)、劳伦斯伯克利国家实验室(LBNL)和劳伦斯利弗莫尔国家实验室(LLNL),以及贝尔实验室、个别企业参与研究。20世纪90年代中后期,美国联邦政府削减了在半导体领域的研发预算。为应对科研经费短缺和科研进度滞缓的不利局面,DOE所属3个...
光刻机究竟有多难造?比原子弹还稀有,全球仅有两个国家掌握技术
据了解,现在EUV光刻机上使用的多层膜反射镜,现在全球只有德国的一家名为“蔡司”的老牌镜头制造厂家能够制作。其他任何国家的多层膜反射镜都达不到EUV光刻机的制作要求。就连荷兰和日本这两个生产EUV光刻机的国家也要从德国进口这种反射镜,不然EUV光刻机就难以生产。
成本可降低数倍!EUV光源的替代方案来了!
KEK的科学家表示,制造EUV光源的最佳候选者是能量回收直线加速器,可以使自由电子激光器经济地产生数10kW功率的EUV光源(www.e993.com)2024年10月18日。这足以同时驱动多台下一代光刻机,从而降低先进芯片制造的成本。KEK高级光源研究员NorioNakamura也表示:“EUV-FEL光束的极高功率、窄光谱宽度和其他特性使其适合作为未来光刻的EUV光源来应用。”...
荷兰政府成功挽留光刻机巨头阿斯麦,但功臣不是它|甲子光年
光刻机设备市场占有率,图片来源:KhaveenInvestments以风车和郁金香闻名的荷兰,一直是乐于张开双臂拥抱外国人才的欧盟国家。得益于此,阿斯麦也吸引了来自世界各地的人才。它在荷兰本地拥有23000名员工,其中超过40%是没有荷兰国籍的外国雇员。然而在取消外国人税收补贴,减少外国留学生数量的右翼政策预期下,阿斯麦的人才招...
券商观点|ASML如何能独霸光刻机,国产光刻机的三座大山
国产光刻机供应链奋发向上。目前针对EUV光源,国内也有研究机构取得一定进展。2017年,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(以下简称长春光机所)的“极紫外光刻关键技术研究”获得国家02专项的验收,从而推进了我国对EUV的技术研发。2023年4月,中国科学院院士白春礼到长春光机所调研,并参观了EUV光源样机。此外,针对光...
EUV光刻机,大结局?
众所周知,当前,EUV光刻机的镜头系统由蔡司公司所制造,镜头系统采用的超低热膨胀玻璃来自于肖特公司。1896年,英国物理学家瑞利以“Airy斑”理论为基础,对“Abbe光学衍射极限理论”进行了进一步的延伸和细化,建立了“瑞利判据”(RayleighCriterion)。如果一个点光源的衍射图像的中央最亮处刚好与另一个点光源的衍射图...
2023年全球光刻机行业发展现状及竞争格局分析,国内光刻机市场正在...
光刻机行业未来发展趋势据预计,2022年中国光刻机市场规模将达到27亿美元。上海微电子是国内主要的光刻机生产企业之一,其产品主要采用ArF、KrF和i-line光源,可满足IC前道制造90nm、110nm、280nm关键层和非关键层的光刻工艺需求,28nm设备积极研发推进中,上海微电子自主研发的600系列光刻机已经突破了外国光刻机卡脖...