替代EUV光刻机光源,日本方案详解
光刻分辨率R取决于光源波长λ、数值孔径NA和工艺参数k1,如下所示、为了保持摩尔定律的有效性,光源波长逐渐变得越来越短,这是因为分辨率与波长成线性比例。EUV光刻波长为13.5nm,符合Mo/Si多层反射镜的反射率。几年前为了实现高批量生产(HVM),在EUV光刻技术中开始使用250W激光产生的等离子体(LPP)源。在LPP光源...
手持式叶绿素测定仪:叶绿素ab含量数值无损测量
准确性:与SPAD值相比,直接测量叶绿素含量可以提供更准确的结果,因为它提供了实际的叶绿素浓度数值。实时性:可以在野外对植物叶片进行即时测量,提供即时的叶绿素含量数据,方便及时判断植物生理生态的异常情况。无损检测:通过光学测量,可以在不损伤植物的情况下对叶绿素含量进行定量检测,不影响植物的生长和发育。便携性:...
集成电路学院在面向高数值孔径极紫外光刻的光源-掩模联合优化算法...
高数值孔径(HighNA,NA="0.55)极紫外(EUV)光刻是实现5nm及以下技术代先进集成电路制造的关键技术,其成像性能受到诸多因素的限制。光源-掩模联合优化(SMO)是先进光刻工艺中提升成像质量的一项重要技术,并在14nm及以下技术代中实现成功应用。因此,建立面向High"NAEUV光刻系统的SMO算法具有明确且重要的实际应用价值。
祛魅才得真光源
半个多世纪以来,光刻机光源的波长从最初的可见光逐步演化到高压汞灯产生的436nm(G线)、365nm(I线),再到KrF准分子激光的248nm、ArF准分子光源的193nm。43、目前,产业界公认的新一代主流光刻技术是采用光源波长为13.5nm的极紫外光刻。44、由于13.5nm的EUV光在所有材料中均会被强烈吸收,其光学系统...
车灯设计:基于 LED 光源的汽车车灯设计与优化
汽车LED光源的寿命远远超过传统大灯,能够达到数万小时甚至更长??一般而言,LED灯珠的寿命在2万小时以上,甚至高品质的产品可达到5万小时以上??相比之下,传统大灯的寿命通常只有数千小时??这意味着使用LED光源车灯可以大大延长照明系统的使用寿命,减少维修和更换的频率,降低维护成本,从而提高车灯的可靠性和稳定性??...
拆解家用投影核心参数,选投影认准三色激光光源
从色域来看,激光的色域覆盖超过100%BT.2020;LED光源色域覆盖理论上最高可达到130%的sRGB(www.e993.com)2024年7月28日。换算到相同色域标准,三色激光色域覆盖是LED的两倍左右。从对比度来看,三色激光同样优于LED,主要原因在于两种光源的发散角度不同,LED发散角度在105°左右,而激光在2°左右。光源发散角度越大,外溢的光就越多,导致暗场黑不...
三色激光VS LED,谁才是智能投影最佳光源之选?
从色域来看,激光的色域覆盖超过100%BT.2020;LED光源色域覆盖理论上最高可达到130%的sRGB。换算到相同色域标准,三色激光色域覆盖是LED的两倍左右。从对比度来看,三色激光同样优于LED,主要原因在于两种光源的发散角度不同,LED发散角度在105°左右,而激光在2°左右。光源发散角度越大,外溢的光就越多,导致暗场黑不...
护眼灯哪种光源对眼睛最好?2023考研护眼台灯分享
台灯最好选择4000k色温,这个色温光线舒适,看起来也柔和,同时也比较适合阅读和写作。上午的日光色温是最接近这个数值的,这也是上午学习效率高的原因。如果要满足多种需求:看电脑,打游戏,看书等等,那么最好选择可以调节色温的台灯。4、有无3C认证学习台灯一定要通过强制性3C认证,而且还要在有效期内才可以...
技术跃迁:EUV光源主题,源头活水,换道超车
简单来说波长越小,数字孔径越大,工艺因子越小,分辨率就越高(CD数值小)。根据卡尔蔡司光学专家SaschaMigura博士的研究,光刻机加工精度的改善沿着“??下降→NA增大→??1下降”的顺序逐步迭代。光源变革是光刻机加工精度最有力的推动者,因此我们也都用光源波长来区分光刻机代际差异。回顾光刻机发展历史,...
不止光源,EUV光刻对这一设备的依赖度不断提升
主要原因在于,先进制程发展越来越难,对高精尖半导体设备的依赖度也在提升,特别是高数值孔径EUV光刻机,行业地位在原有基础上还在提升。而多波束光罩刻录机与EUV设备有着紧密的联系,且相关性越来越高,简单来说,就是光刻必须要用到光罩(掩模版),且需要多层光罩,而多波束光罩刻录机就是晶圆厂会用到的先进设备,用于...