东海研究 | 深度:光刻机:国产设备发展任重道远,零组件企业或将...
最后,由于角度太大加上折射效应,投影物镜内的光产生全反射而返回物镜内,无法成像,该方法失效;2)使用浸没式光刻在投影物镜和晶圆间加水,从而增大介质折射率(193nm波长激光中,空气=1,水=1.44,玻璃~1.5),实现等效波长为193/1.44=134nm。这就是浸没式光刻机的理论由来。(5)光刻机在ASML技术发展下不断迭代,最小...
EUV光刻新方案,大幅降低成本!
非球面反射镜用于校正像差,产生的残余均方根(rms)波前误差为0.027l。该投影仪结构紧凑,物像距离(OID)为276毫米。然而,由于其视场仅限于0.6毫米x0.2毫米,因此不适合用作光刻工具。2004年,MET利用伯克利先进光源的同步辐射装置,演示了30纳米等线空间印刷。这一成功表明双镜投影物镜系统具有巨大的...
不打针、不吃药、不手术能治疗近视吗?专家这样说……
??S.E.(Sphericalequivalent)指的是等效球镜,计算公式为球镜(S)+1/2柱镜(C)。等效球镜反映的是眼球整体的屈光状态,是综合评估了球面屈光度和散光偏向的度数,是一种综合的、简化计算出的度数。例如:如果球镜(S)为-4.50D,柱镜(C)为-1.00D,根据公式计算可得,-4.50+1/2×(-1.00)=-5.00D,则等...
这个神奇公式据说能让镜头降价?
而如今,来自Mexico'sTecnologicodeMonterrey的RafaelGonzalez如有神助地提出了一个在制造镜头时可以用来完全消除所有球差的公式。在对500束不同光线的测试中,发现该公式的平均准确度为99.9999999999%。这项发现预计将减少与镜头制造业务相关的昂贵的试错成本,并可能使得以往结构复杂的高锐度镜头进一步简化结构(不...
万字长文:说透光刻机
非球面的应用使物镜NA可以增加到0.9,接近物理极限(干式光刻);引入浸没式技术后,物镜NA可以增加到1.1以上(浸没式光刻);加入反射镜组成折反式结构理论上物镜NA可到1.35(极限值)。趋势为(干式)球面镜→非球面镜→(浸没式)非球面镜→折返式。2)缩短曝光波长:由于晶体管越做越小,元件线路越来越密集,光刻...
深大《908工程光学》考情分析(含专业介绍、考试大纲、往年录取...
3.掌握应用光学中的符号规则,掌握近轴光线的光路计算公式(www.e993.com)2024年10月22日。4.掌握单个折射球面、反射球面的成像公式,包括垂轴放大率、轴向放大率、角放大率的定义、物理意义和相关计算。5.掌握共轴球面系统公式(包括过渡公式、成像放大率公式)及相关计算。第二章理想光学系统...
光刻设备行业深度研究:半导体设备之巅,冰山峰顶待国产曙光
EUV光源发出的波长为13.5纳米的极紫外光,被几乎所有光学材料强吸收,故EUV光刻机的照明系统的投影物镜系统只能采用全反射式结构。EUV的反射镜对加工精度的要求极高,其表面镀有钼/硅多层膜及一层2-3nm的钌保护膜。钌膜可以有效延缓钼/硅的氧化,降低碳在表面沉积的速率。
院士访谈 | 苏州大学,潘君骅院士_澎湃号·湃客_澎湃新闻-The Paper
公式分析和计算结果都表明,这个辅助凹面镜必须是一个椭球面镜,详细计算得到的最佳尺寸是被检镜的1.5倍左右。而Hindle方法的辅助镜是被检镜的2.2倍左右。当然我这个方法有一个缺点就是辅助镜是非球面,但老师认为这个缺点问题不大,因为椭球面镜可以自检,而且非球面度也不大,容易做,但对大口径镜面而言,缩小检验镜...
初中物理常考知识点总结,年年考,务必要掌握
二、平面镜的成像规律是:(1)像与物到镜面的距离相等;(2)像与物的大小相等;(3)像与物的连线跟镜面垂直,(4)所成的像是虚像。成像原理:根据光的反射成像。成像作图法:可以由平面镜成像特点和反射定律作图。平面镜在生活中使用不当会造成光污染。球面镜包括凸面镜(凸镜)和凹面镜(凹镜),它们都能...
2022南京信息工程大学T30应用光学招生考研大纲-新东方网
3.理解和掌握完善成像条件的三种表述。4.理解、掌握、灵活应用符号规则,能推导计算公式并掌握简化公式。5.掌握单个球面成像公式计算球面光学系统的成像问题。6.理解多个折射面(含两个)物像空间不变式二、理想光学系统(30%)1.熟悉理想光学系统概念:高斯光学、共轭、共线成像...