中微半导体申请一种等离子体处理设备及其安装维护方法专利,保证...

专利摘要显示,本发明公开一种等离子体处理设备及安装维护方法,等离子体处理设备包括:反应腔,包括第一腔体;顶盖,设置于第一腔体顶部;第二腔体,设置于第一腔体内;第一腔体底部设有抽气口,第一腔体侧面设有第一开口,第二腔体侧面设有第二开口,第二开口和第一开口通过连接管连通形成通道基座设置于第一腔体内,用于承载...

新疆医科大学第二附属医院关于自治区网采平台挂网医用耗材议价...

一、项目基本情况项目编号:2440xzjkx146项目名称:新疆医科大学第二附属医院关于自治区网采平台挂网医用耗材议价项目(第五批)采购方式:询价预算金额:0.000000万元(人民币)最高限价(如有):0.000000万元(人民币)采购需求:合同履行期限:1年。本项目(不接受)联合体投标。二、申请人的资格要求:1.满...

【微医讯】无刀胜有刀!等离子体射频技术让创面不再“难愈”

等离子体射频不仅能够高效杀灭清除创面内的致病微生物,而且极其“微创”的特点对周围损伤小,并且等离子体还能刺激基底细胞再生,从而进一步促进创面愈合。在杨润功主任带领下治疗团队为患者进行多次等离子体射频清创手术患者小腿大范围的感染得到了控制感染致病菌被彻底清除同时,通过转移皮瓣手术使小腿胫前创面得以完整...

山东中医药大学附属医院医用耗材采购项目-一次性射频等离子体手术...

项目名称:山东中医药大学附属医院医用耗材采购项目-一次性射频等离子体手术电极拟采购的货物或者服务的说明:一次性射频等离子体手术电极拟采购的货物或服务的预算金额:0.380000万元(人民币)采用单一来源采购方式的原因及说明:只能从唯一供应商处采购二、拟定供应商信息名称:山东康创医疗设备有限公司地址:山东省...

全球与中国射频等离子体手术系统市场现状深度调研与发展趋势分析...

2024-2030年中国射频等离子体手术系统市场研究分析与前景趋势报告优惠价:7360元射频等离子体手术系统是一种利用高频电流产生等离子体来进行组织切割和凝固的微创手术工具。近年来,随着微创手术技术的发展和患者对手术效果要求的提高,射频等离子体手术系统得到了广泛应用。这类系统不仅能提供精确的切割效果,还能有效减少手术...

中微公司申请一种下电极组件及其等离子体处理装置专利,实现了对...

专利摘要显示,本发明公开了一种下电极组件及其等离子体处理装置,该下电极组件设置于一真空反应腔内,其包含:基座,其用于承载晶圆,所述基座的上边缘具有围绕所述晶圆的环形台阶;第一射频电源,用于向所述基座提供第一射频功率;环绕设置于所述环形台阶上方的至少两个边缘调整组件,各个所述边缘调整组件之间电绝缘;边缘调整...

科创未来丨探访顶尖实验室 :“机械梦工厂”里的材料有了“超能力”

只需要将带有光刻胶的晶圆放入设备中,高性能微波等离子体将氧气电离,变成氧化性非常强的气体。此时,在低温下,光刻胶变成了水、一氧化碳、二氧化碳。相比于传统射频等离子体,该装备反应更快,对晶圆的损伤更小,完全满足干法清洗的要求。基于这一成果,实验室“揭榜”成都市、合肥市科技项目,金额总数1300万元,开发了国...

Caelum系列射频电源系统|助力半导体关键技术自主可控

在半导体设备领域,射频电源是薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗等前道工艺机台的关键零部件之一,是半导体工艺控制的核心。射频电源是等离子体控制配套电源,主要用于在低压或常压中产生等离子体,其直接关系到腔体中的等离子体浓度、稳定度和均匀度,技术壁垒较高、国产化率低,长期被国外企业所垄断。

两大需求带动射频电源市场增长,国产厂商开始发力

两大需求带动国内射频电源市场增长射频电源被广泛应用于半导体工艺设备、LED与太阳能光伏设备等领域。在半导体设备领域,射频电源是薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗等前道工艺机台的关键零部件之一,直接影响腔体中的等离子体浓度、均匀度和稳定度。射频电源的主要增长点...

集微首发 | 上海励兆科技发布多款射频等离子解决方案新品

近日在公司成立十八个月之际,半导体设备关键零部件射频和等离子系统供应商上海励兆科技向市场发布了多款射频等离子解决方案新品,包括东海(ES)系列远程等离子源和具备脉冲匹配功能的衡山(Heng)系列全自动射频负载匹配器等等;配合已经量产的具备多级脉冲功能的黄河(YR)系列射频电源,励兆科技为泛半导体行业客户提供一站式射频...