SK海力士采用氟气清洗工艺 环保低碳
SK海力士近期宣布将在芯片生产清洗工艺中采用更环保的气体——氟气(F2)。该公司在2024年的可持续发展报告显示,之前使用的三氟化氮(NF3)用于去除腔室内部残留物时,在全球变暖潜能值(GWP)方面具有显著优势,其数值为17200,而氟气(F2)则为零。除此之外,SK海力士还增加了氢氟酸(HF)的使用量,该气体可应用于低温蚀刻...
SK 海力士加大环保投入,在芯片生产工艺中使用氟气替代三氟化氮
IT之家7月25日消息,SK海力士宣布将在芯片生产清洗工艺中使用更环保的气体——氟气(F2)。SK海力士2024可持续发展报告显示,该公司原先将三氟化氮(NF3)用于芯片生产过程中的清洗工艺,用于去除沉积过程中腔室内部形成的残留物,其全球变暖潜能值(GWP)显著高于氟气(IT之家注:NF3的GWP为17200,而F2...
哪些气体属于易燃气体?
1、氢气是一种无色、无味、无臭的气体,常温下不活跃,不溶于水。氢气具有极高的易燃性,爆炸的极限范围为4%~75%。与氟气、氯气接触会产生剧烈的燃烧。当氢气被吸附在钢制设备中时,会引起“氢脆”,导致工艺设备的损坏;液氢能够使低碳钢和多数铁合金变得易碎。2、甲烷是一种无色、无味、微毒的气体,易燃,燃...
欧盟2027年起将禁止含有全球升温潜值150以上与含氟气体的分体式...
部分收入将用于支付实施氟气法规的行政费用,其余将用于欧盟一般预算。该文本规定了从2028年1月1日起对属于第2012/19/EU号指令(关于废弃电气和电子设备)规定的电气和电子产品类别的产品和设备中的氟气体实施强制性生产者责任扩展(EPR)计划。临时文本规定,成员国将制定适用于侵权行为的有效、适度和劝阻性处罚规则。处...
世界上最活泼和最不活泼的非金属元素|氟气|氦气|化学|活泼性|原子...
氟是世界上最活泼的非金属元素。氟是一种淡黄色、剧毒的气体,具有很强的腐蚀性,化学性质极为活泼,是氧化性最强的物质之一,甚至可以和部分惰性气体在一定条件下反应。氟气的活泼性使其在许多领域都有重要的应用。例如,氟气可以用于制造氟化物,如氟化氢、氟化钠等。这些氟化物在化工、电子、医药等领域都有广泛的...
一文看懂半导体前端工艺-电子工程专辑
自由基氧化与前两种不同:湿法与干法氧化都是通过提高自然气体的温度来提升其能量,从而促使气体与晶圆表面发生反应(www.e993.com)2024年9月25日。自由基氧化则多一道工艺,即在高温条件下把氧原子和氢分子混合在一起,形成化学反应活性极强的自由基气体,再使自由基气体与晶圆进行反应。由于自由基的化学活性极强,自由基氧化不完全反应的可能性极小。
数百人紧急撤离!台积电供应商管制气体泄露
氟气是剧毒性气体,能刺激眼、皮肤、呼吸道黏膜。由于它立即与水反应生成氟化氢,所以在大多数情况下显出与氟化氢同样的毒性。当氟气浓度为5~10ppm时,对眼、鼻、咽喉等黏膜开始有刺激作用,作用时间长时也可引起肺水肿。与皮肤接触可引起毛发的燃烧,接触部位凝固性坏死、上皮组织碳化等。慢性接触可引起骨硬化症...
金宏气体:公司已实现了超纯氨、高纯氧化亚氮、电子级正硅酸乙酯...
金宏气体:公司已实现了超纯氨、高纯氧化亚氮、电子级正硅酸乙酯、高纯二氧化碳等一系列产品的产业化每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:您好,请问四氟化碳,八氟环丁烷,六氟化硫,氧化亚氮,六氟化钨,二氯硅烷,三氯化硼,三氟化硼,磷化氢,三氯氧磷,氟化砷,三氟化磷,六氟化硫,氟气等电子特气是否都可以...
非金属工业单质产品氟气常见工艺路线生产企业市场发展趋势分析
氟气在标准状态下是淡黄色气体,液化时为黄色液体。分子式为F2,相对分子质量38.00,沸点-187℃,相对密度1.70(空气=1),饱和蒸汽压101.32kPa(-187℃),氟是已知元素中非金属性最强的元素,这使得其没有正氧化态。且氟具有极小的原子半径,因此具有强烈的得电子倾向,具有强的氧化性,是已知的最强的氧化剂...
凯美特气获37家机构调研:凯美特气向多元化的气体品种发展,创新是...
公司募投项目中的宜章电子特气项目可以解决公司氟基产品的原料,此外巴陵9万空分的稀有气体提取装置完成后也可解决氦、氖、氪、氙原料气自给。电子特种气体在生产中要求使用高质量的气体包装储运容器,容器内壁需要做特殊处理避免二次污染。公司已通过了湖南省电子特气特种设备检验检测机构核准,并努力在未来形成电子特种气...